在线真空计比较法校准技术研究.pdfVIP

第 l9卷 第2期 真空与低温 2013年6月 Vacuum ＆ Cryogenics l21 在线真空计 比较法校准技术研究 刘 波，丁立莉，刘 卿 (西安航天计量测试研究所 ，陕西 西安 710100) 摘要：介绍了采用B—A型和皮拉尼复合真空计做为副标准计，在线校准工作用真空计的方法。通过使用副标准 真空计与在线工作用真空计同时测量同一真空环境 ，进行数据运算及分析，判断在线真空计的主要技术性能指标， 给出其修正因子及测量不确定度。为了验证该校准技术量值传递的准确性及可靠性，通过对副标准真空计相关性 能测试及在线进行比较校准，认为该技术是可以解决科研及生产领域中真空计的在线校准。 关键词：副标准真空计 ；修正因子；测量不确定度 中图分类号： 文献标志码：A 文章编号：1006-7086(2013)02—0121—04 DOI：10．3969／j．issn．1006—7086．2013．02．013 oNLINE CALlBRATIoN VACUUM GAUGE COMPARISoN METHoD TECHNoLoGY REAEARCH LIUBo，DINGLi·li，LIUQing (MeasuringandTestingInstituteUnderXianAerospaceCorporation，Xiall710100，China) Abstract：ThispaperintroducesakindofB—A typePiranivacuum gaugeasavicevacuum gaugecalibrationwork，online comparsionmethodwithvacuum gaugecalibration。Theauthorthroughastandardvacuum gaugetoworkwith，measurehte samevacuum environmentatthesametime-datacomputingandanalysis，givesthecorrectionfactoranditsmeasurementan— certainty．Inorderrtoverifytheceracityandreliabililyoftheprospectivetechnologydissemnation，throughthevicestandard vacuum gaugeperformancetestandonlinecomparecalibration．Thinkthetechnologycanbesolvedinthefiledofscientific resesrchandproductionofvacuum gaugecalibrationonline． Keywords：vicevacuum gauge；correctionfactor；measurementuncertainty 1 引言 比较法校准装置主要用于真空量值的比较校准，是真空计量进行量值传递的主要校准装置[11。近些年 来，随着科学技术的发展，真空测量得到了长足的进步，在一些科研及生产场所有大批的数采型真空计、真空 控制模块、真空及温控合成机组等，使得整套测量设备更加智能化、集约化，从而对仪器设备的使用精度、使 用频次，有了更高、更全、更特殊的要求。但由于整套仪器设备安装后无法频繁拆卸、测量距离远，传输信号 衰减、送检路途颠簸受损及送校周期长等原因，造成测量仪器无法及时准确判断其性能指标，正确进行数值 修正，从而直接影响到客户的产品质量及生产周期。为了解决此类真空计的日常校准需求，依据真空比较 法 使用原理，将实验室校准技术通过改进运用到在线真空计的日常校准工作中。 2 工作原理 校准系统的工作原理是以B-A型皮拉尼复合真空计做为副标准真空计 ，通过接头转换及安装相关控制 阀门与被校真空计同时连