薄膜测量-刘旭.pdf

薄膜的吸收和散射测量 内容 • 激光量热计的基本原理 • 光声、光热偏转法测量薄膜吸收 • 薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 • 散射光的矢量理论和角分布测量 • 谐振腔衰荡（Cavity Ring Down ）薄膜损 耗检测法 • 薄膜导波传播衰减系数法 激光量热计 光声、光热偏转法测量薄膜吸收 光热偏转法 散射损耗的特点 • 光学薄膜的散射可以分为体内散射和界面散射（或表面散 射） • 对于常规光学抛光的基底上镀制的光学薄膜元件中的散射 损耗一般是很小的（1%）。 • 这是因为薄膜体内的折射率不均匀性一般较小（由于薄膜 较薄，对散射的贡献较小，一般不予考虑），常规抛光的 基底表明的粗糙度一般可以在50nm以内，表面的散射也较 小。 • 但是随着薄膜层数的增加，界面微粗糙度的散射损耗的作 用就会增大。 • 因此在激光反射镜等损耗要求高的应用中，散射损耗是一 个十分重要的参数。 表面微粗糙度的表示 将表面的微粗糙度看成是一种随机分布表面函 数，设该函数以z(x,y)来表示，对表面的微粗糙轮 廓函数