工作气压对ZnO：Mn薄膜结构特性的影响.pdfVIP

第34卷 第6期 发 光 学 报 Vo1．34 No．6 2013年6月 CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE June，2013 文章编号：1000-7032(2013)06-0711-05 工作气压对 ZnO：Mn薄膜结构特性的影响 李 彤 ，介 琼 ，张 宇 ，倪晓昌 ，赵新为 (1．天津职业技术师范大学 电子工程学院，天津 300222；2．东京理科大学 物理系，日本 东京) 摘要：利用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上沉积了一系列ZnO：Mn薄膜，结合Raman光谱、XRD衍射谱和 SEM分析了工作气压对ZnO：Mn薄膜结构特性的影响。Raman拟合光谱显示．在工作气压从 1Pa增加至4Pa 的过程中，ZnO：Mn薄膜始终保持着六角纤锌矿结构。但是，随着气压的降低，对应于E (High)振动模式的 Raman散射峰以及与Mn掺杂相关的特征峰左移，说明在低工作气压时，ZnO：Mn薄膜内晶格缺陷更多，晶格 更加无序。