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MKS 902 系列真空计—精巧的压电陶瓷真空规 MKS 902 系列真空计，一个简单的模块化设计，高可靠性，低成本，使之 广泛应用于各个工业领域。这些领域和工艺包括半导体制造，薄膜镀膜，冻干 设备，电灯和灯泡生产，医疗器械，汽车和航天领域， 产品特点： ● 较低的成本替换 ● 集成了电子和传感器于一体的精巧设计 ● 由于传感器快速、准确、可重复的压力测量，大大缩短了 工艺循环的时间 ● 由于其清洁、稳健、坚固的设计和不锈钢的外壳，可适用 在苛刻的条件下 ● 操作简单，同时兼有模拟输出和数字通讯 ● 超快速的响应时间，中继点的工艺控制 ● 符合欧洲 CE，EMC 标志 综 述： MKS902 真空计结合了一个压电陶瓷规和电子控制电路于一体，是一个显 示绝对压力读数的传感器，是不受气体种类影响的，它包括一个独一无二的温 度补偿功能，可以在 10 ˉ1Torr