微机电系统的微观摩擦学研究进展 - 摩擦学学报.pdfVIP

第 2 1 卷　第 6 期 摩 擦 学 学 报 2 1, 　 6 V o l N o 200 1 年 11 月 TR IBOL O GY N ov , 200 1 微机电系统的微观摩擦学研究进展 1 1 1 2 2 3 邓昭 , 饶文琦 , 任天辉 , 余来贵 , 刘维民 , 余新良 ( 1. 上海交通大学 化学化工学院, 上海　200240; 2. 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 甘肃 兰州　730000; 3. 浙江家园药业有限公司, 浙江 东阳　322 118) 摘要: 对微机电系统的微观摩擦学研究现状进行了综述, 介绍了在微机电系统中摩擦学呈现的各种新特征, 以及材 料、环境和不同工况条件对微机电系统运行稳定性的影响. 从微观摩擦学角度探讨了微机电系统的润滑问题, 介绍了 表面改性和薄膜润滑等在解决微机电系统润滑问题方面的研究现状, 并对相关领域的工作进展进行了总结和展望. 关键词: 微机电系统; 微观摩擦学; 表面改性; 薄膜; 超润滑 ( ) 中图分类号: TH 117. 3 文章标识码: A 文章编号: 200 1 　　20 世纪后半叶, 随着大规模电路集成技术和微 影响更加显著, 表面力成为影响系统性能的关键因 细制造技术的发展, 制造毫米以下尺寸的机电一体化 [3 ] 素 . 这种表面作用在系统运行过程中各构件发生接 系统成为可能, 许多微传感器、微致动器以及一些更 ( ) 触时尤为明显, 因此, 控制微系统接触 摩擦 表面的 为复杂的微型机械亦应运而生, 这些统称为微机电系 状态是提高其性能和稳定性的有效途径. ( ) [ 1 ] 统 M EM S . M EM S 泛指从微纳米到毫米量级大 微机电系统中各构件的摩擦磨损首先取决于所 小的电子机械装置, 通常是由机械、电子、光学及其它 用的材料. M EM S 采用的材料包括单晶硅、多晶硅、 功能元件集成在单片或多片芯片材料上构成的智能 氮化硅、镍、金以及其它一些陶瓷材料, 它们的摩擦学 系统. 目前, 人们开发的 产品包括微机械臂、 [4 ] M EM S 行为对于微系统的性能和寿命起着重要的作用 . 其 微阀、微泵、微涡轮机以及具有各种功能的微机器人, ( )