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2014.02 技术平台 75 新型宽量程热偶真空计的研制新型宽量程热偶真空计的研制 李树智 （辽宁省计量科学研究院，辽宁沈阳 110000） 【摘 要】本文介绍了伺服液位计工作原理及其优点，重点列举和分析了锦西石化公司在罐区计量过程中使用 伺服液位计所发现的问题。提出伺服液位计在选型、安装过程中要注意的问题。 【关键词】伺服液位计 安装 测量 选型 新型宽量程热偶真空计由热偶真空规管和新型配套电源 20只规管分别做了加热电流为60mA、80mA、100mA和120mA 组成。规管选用了ZJ-54D型热偶真空规管，电源为最新研制 不同条件下热丝和结点温度变化的试验。然后再经过在各种 的扩流型恒流源电源。该计与通常的单一恒流源电源热偶真 不同加热能量情况下，用本省一等真空标准装置和误差小于 空计相比测量范围有了很大提高。通常的热偶真空计测量范 5％的美国MKS公司生产的薄膜真空计，对规管进行了从 围是从300Pa~0.1Pa，这款真空计测量范围可扩展到100000Pa~ 100000Pa~0.1Pa的宽范围的测试。最后得出了扩展量程的标准 0.1Pa。本真空计可供更多场合使用。 曲线。表2是加热电流80mA时的曲线对照表，表3是加热电流 热偶真空规管的基本原理是依据分子平均自由程长于特 100mA时的曲线对照表。 征尺寸时，气体热传导与真空度存在相关性。规管的基本结构 表2 如图1所示： 输出值mV 33.2 32.5 29.0 14.2 5.84 5.13 3.52 真空度Pa 0.1 1.0 10 100 10 10 103 4 5 表3 输出值mV 40.2 38.2 37.5 24.1 10.1 8.20 6.03 图1 真空度Pa 0.1 1.0 10 100 10 10 103 4 5 图1中F为加热丝，J为由两种不同金属组成的一支小热电 偶，O为结点。当热丝通过一定的电流时，使其结点温度高于 在扩展电流标准曲线的基础上。笔者仍采用定流式电源, 周围气体和规管外壳温度，热丝与规管外壳间便可发生气体热 与通常的定流式电路基本相同,只增加一个电阻R和继电器J 传导现象。当达到热平衡时，热丝的结点温度与气体热传导有 即组成了新型宽量程热电偶真空计。图2为该真空计原理框图。 关，通过热电偶测得结点温度即输出一电压信号，此电压信号 即对应一定的真空度。如果将规管预先用一定的方法进行了 校准，便可反过来由热丝的温度来确定真空度。通过这一相关 现象规管生产厂给出了加热电流在30mA条件下，300Pa~0.1Pa 的标准曲线表对照表（如表1）。 表1 输出值mV 10.0 9.27 6.51 5.17 4.05 2.55 1.12 0.80 真空度Pa 0.01 1.33 8.00 13.3 20.0 40.0 133 266 图2 该电子线路中在原有的单片机基础上扩展了一位单片机 如按表1生产通