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- 2017-07-02 发布于天津
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压电陶瓷纳米级精密定位摆台.pdf
压电陶瓷倾斜台机械结构及驱动
1. 一维倾斜台
轴向剖视示意图 结构 驱动电路与计算方法
采用单支压电陶瓷驱动
输出台面中端柔性铰链变形
输出一维摆角: θx
A:PZT输出位移量
a:压电陶瓷与中线的距离
θx = A ／a
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