300mm硅单晶的缩颈生长及应力分析.pdfVIP

第 25 卷 　第 4 期 稀 　有 　金 　属 2001 年 7 月 Vol. 25 №. 4 　　　　　 　　　　　　　CHINESE JOURNAL OF RARE METALS 　　　　　　　　　　　　　 July 2001 300 mm 硅单晶的缩颈生长及应力分析 程景柏　屠海令　周旗钢　王　敬　常　青　张果虎　方　锋 (北京有色金属研究总院 ,北京 100088) 摘　要 : 　对不同直径颈部晶体进行了拉伸实验及断口形貌观察 ,颈部晶体的断裂属于脆性断裂 ,增大晶体颈部 直径可以增大其承受拉力 ,从而可以制得更大重量的单晶。缩颈生长工艺条件会对颈部晶体的抗拉强度产生影 响。讨论了颈部晶体的断裂机制。 关键词 : 　300 mm 硅单晶 　缩颈 　脆性断裂 　抗拉强度 ( ) 中图分类号:TN