注塑模具型腔表面阵列微结构的蚀刻技术 - 中国机械工程.PDFVIP

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2017-07-03 发布于天津
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注塑模具型腔表面阵列微结构的蚀刻技术 - 中国机械工程

中国机械工程第卷第期年月上半月２７１７２０１６９注塑模具型腔表面阵列微结构的蚀刻技术１２１黄红光郭钟宁杨权　　　 , , 广州汽车集团股份有限公司广州１．５１１４３４ , , 广东工业大学广州２．５１０００６ : , . 摘要设计了一种简单的掩模并通过控制蚀刻液的喷淋压力进行了平滑阵列微结构研究研究发 , , 现蚀刻液喷淋压力对微结构的加工形貌有显著影响蚀刻深度和侧蚀量随蚀刻液喷淋压力增大而增 . , 、大研究整合了多次加工和控制喷淋压力的工艺得到了理想的无棱边棱角结构均匀的深度渐变型阵 . 、、列微凸结构最终在注塑模具表面上加工出宽度为２００ m 深度约６０ m的无棱边棱角过渡平滑的 μ μ 阵列微结构. : ; ; ; ; 关键词化学蚀刻表面微阵列结构蚀刻深度侧蚀量二次加工中图分类号: : / TH１６ DOI１０．３９６９．issn．１００４１３２X．２０１６．１７．０１４ j Etchin Micromachinin ofMicrostructureArrasonInectionMoldCavitSurface g g y j y １２１ Huan Hon uan 　GuoZhonnin 　Yan Quan g gg g g g g , , , １．GuanzhouAutomoibleGrou Co．Ltd．Guanzhou５１１４３４ g p g , , ２．Guandon UniversitofTechnolo Guanzhou５１０００６