激光扫描显微镜中的成像功能.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 , 年 月 , 激光扫描显微镜 中的 成像功能 袁雅珍 , 中国科学院长春光学精密机械研 究所 长春 。。 显 , 绍 摘要 扼要 的介绍 了激光扫 描 微镜在 国 内外的发展状况 着重介 了激 光扫描 显 、 、 和 用 微镜 中特殊成像功能 成像 的测量方法 荃本原理 技术特色 应 前景 关键词 激光扫描显微镜 成像 瓜 成像 ‘ 己 生 , 二 激 光扫描 显 微镜是 我 国近 几年来研 制 出的一种 崭新 的显 微成 像 测 量仪 器 。 它 对 生物 、 医 、 药 地质和半导体等领 域 的研 究工作 有着重 大 的意 义和广 阔的应 用前 景 , 因此 人 们对 此 项技术 。 , 和 飞 , 的发 展也倍加关注 尤其 是在 当今世 界 计算机 半导体事业 的 速 发展 有 力 的推动着 半导 路器 、 、 速 。 对 导 路器 体集成 电 件 向着高密度化 高精度化 高 度化 的形 势发展 由此 便 半 体集成 电 、