不同沉积参量下zro2 薄膜的微结构和激光损伤阈值3.pdf

第 25 卷 　第 7 期 光 　学 　学 　报 Vol . 25 ,No . 7 　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　 2005 年 7 月 A C TA O P TICA SIN ICA J uly , 2005 文章编号 :(2005) 079945 不同沉积参量下 Zr O2 薄膜的微结构和激光损伤阈值 1 ,2 2 2 2 2 2 1 1 马 　平 　陈松林 　胡建平 　胡江川 　段立华 　王 　震 　邵建达 　范正修 1 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海 20 1800 2 成都精密光学工程研究中心 , 成都 6 1004 1 摘要 : 　ZrO2 是用于高抗激光损伤薄膜的重要材料 ,其结构及性能与沉积条件有很大关系 。采用 X 射线衍射 ( XRD) 技术分析了不同充氧条件和沉积温度对 ZrO2 薄膜组成结构的影响 ,并对不同工艺下制备的薄膜的表面粗 糙度和激光损伤阈值进行了测量 。结果发现随着氧压的升高 ,ZrO2 薄膜将由单斜相多晶态逐渐转变为非晶态结 构 ,而随着基片温度的增加 ,薄膜将由非晶态逐渐转变为单斜相多晶态 。同时发现随着氧压升高晶粒尺寸减小 ,而 随着沉积温度增加 ,晶粒尺寸增大 。氧压增加时工艺对表面粗糙度有一定程度的改善 ,而沉积温度升高 ,工艺对表 面粗糙度的改善不明显 。晶粒尺寸大小变化与表面粗糙度变化存在对应关系 。激光损伤测量表明 ,氧压条件和沉 积温度对 ZrO2 薄膜的抗激光损伤能力有着较大影响 。 关键词 : 　薄膜光学 ; ZrO2 薄膜 ; X 射线衍射 ; 氧压 ; 基体温度 ; 激光损伤 中图分类号 : O484 . 4 　　　文献标识码 : A S t u di e s o n t h e Mi c r oS t r u ct u r e a n d L a s e r D a m a ge Th r e s h ol d of Zr O2 Th i n F i l m s D ep os i t e d a t D if f e r e n t P a r a m et e r s Ma Pin g1 , 2 　Ch e n Son glin2 　Hu J ianp in g2 　Hu J ian gchuan2 2 2 1 1 Duan L ihua 　Wan g Zh en 　Shao J ianda 　Fan Zh e n gxiu 1 Sh a n gh a i I n st i t u t e of Op t ics a n d Fi n e Mech a n ics , The Ch i n ese Aca dey of Scien ces , Sh a n gh a i 20 1800