原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
无线多传感器网络红外热释电传感器的微小型化设计与研究
舻1论文 无线多传孳器网络一红外孰糕电传感器的微小型化设计与铲究
摘 要
对无线多传感器网络中红外热释电传感器模块进行微小型化设计，一方面利
用实际的工艺进行整个传感器的电路板设计，另一方面提出利用微机械电子系统
制造(MEMS技术)进行整个模块的微型化设计是整个课题的构思设想。
根据课题的背景，详细的分析所要探测的红外辐射信号的特点，介绍了两种
不同的红外探测器原理模型，根据这两种模型由各种光电效应和光热效应制成的
不同红外探测器及其性能参数，并且详述了各种不同红外探测器的优缺点，根据
各种红外传感器的优缺点和实际应用环境的需要，本课题选择了红外热释电传感
器作为无线多传感器网络中红外探测部分。
在对红外热释电传感器的原理进行分析后，将红外热铎电传感嚣划分为三个
部分分别进行小型化的研究与设计，然后利用集成工艺对三个部分进行二次集成
化设计。由于现有工艺的限制，因此本课题在实际设计中主要对电路部分进行集
成设计。然后将调制部分菲涅尔透镜、热释电探头SD02集成在电路板的方法。
最后在提出利用微机械电子设计工艺对整个系统进行前瞻性研究与设计，并
根掘现有实际设计出来的产品对整个红外热释电传感器的尺寸大小。
关键词：无线多传感器网络，红外热释电传感器，熟释电效应，微系统，MEMS，
LIGA7-艺，表面微加工，体硅徽加工
硕士论文 无线多传J寥器嘲络一红外拽辑电传J巷器的微小型化设计与研究
ABS讯tCT
The ofthisarticleistoachievemicrominiaturization
purpose oftheinfraredTSD
sensorfor outtheWirelessSensorNetworks．Itthe
circuitboardfor
carrying designs
infraredTSD
sensor realizable advances of
conceive
usingpractical technology,and
theentirenessmodular of infrared
miniaturizationthe TSDsensor micro
design using
electromechanical technology．
system(MEMS)manufacture
Onthebasisof the
of research article
background project,theparticularly
thecharacteristicofthe ofinfraredradiation
signal introduce
analyzes detailed，and
two modelsoftheinfrareddetector．Thearticlealsorecommendthedifferem
theory
infrareddetectorsdifferent and
文档评论（0）