基于规则球型纳米颗粒的探针建模与图像重构①.pdf

高技术通讯 2013年 第23卷 第9期：946—950 doi：10．3772／j．issn．1002-0470．2013．09．011 基于规则球型纳米颗粒的探针建模与图像重构① 袁 帅②～ 刘继飞 侯 静一” 刘连庆” 董再励 (沈阳建筑大学 沈阳 110168) (”中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室 沈阳110016) (…东北大学信息科学与工程学院 沈阳110819) 摘 要 考虑到在原子力显微镜扫描成像过程中，由于探针针尖形貌和样品表面的卷积 作用，使得样品形貌在扫描图像中的形状 “展宽”，严重影响了原子力成像的质量，进行了 重构探针形貌，然后使用反卷积的方法降低扫描图像中探针展宽效应的研究。分析了目 前常用的探针建模方法——盲建模算法，该方法不需要 已知表面形貌 的样 品薄膜(如多 孔铝薄膜)来标定探针形貌，但会使降噪参数对探针建模结果产生很大影响，并且标定薄 膜的表面也容易被污染，这样就降低了该方法的使用效率。针对这些问题，提出基于数学 形态学的建模方法，即通过在平整的表面上沉积规则球型纳米颗粒对探针模型建模，然后 重构扫描图像。通过仿真与实验结果验证了该方法的有效性。 关键词 原子力显微镜(AFM)，数学形态学，探针建模，纳米操作 多种样品表面的表征。由于AFM探针在成像时导 0 引 言 致展宽效应，会严重地影响AFM的成像质量。从数 学形态学角度看，AFM成像是由探针针尖形貌和样 原子力显微镜 (atomforcemicroscopy，AFM) 品表面形状卷积(膨胀运算)而成，在样品表面的高 自1986年发明以来，由于其分辨率极高，在大气、溶 度图中产生了明显的失真。采用反卷积运算处理可 液、真空等多种环境下具有可适用性，目前在生命科 以有效排除这类扫描成像干扰，但需要已知探针形 学L2 、信息科学_5剐等领域得到了广泛应用。AFM 貌。目前主要采用数学形态学的盲建模算法建立探 能在生理环境下获取亚纳米分辨率的生物样本图 针针尖模型。该方法由于不需要使用精确标定的已 像，因而AFM观测在生物学研究领域特别是在单细 知参考表面就可以建立探针模型，因而得到了广泛 胞和单分子的形貌结构表征上显示出巨大优势， 的研究和应用[9-13]。然而用该方法时标定薄膜图像 AFM成为这些研究领域的重要工具 4。。此外， 噪声对探针建模有很大影响 ¨，并且标定薄膜中存 AFM在 Ic制造领域可以完成绝缘体与导体材料在 在起伏变化较大的尖锐特征形貌也容易受到污染。 纳米尺度上线宽的精确测量 。随着 IC制造业 中 目前使用的多孔铝标定薄膜 ¨ (PA)如图 1(a)所 的电路集成度不断提高，对半导体沟槽的最小线宽 示。PA表面上具有六边形的孔洞，孔距为 (100± 测量范围和精度要求也相应不断提高，利用 AFM的 10)am，孔壁厚度为 ～5nm，孔壁尖端的曲率半径为 纳米级测量精度将有助于进一步