纳米晶体硅量子点场致发射冷阴极研究.pdfVIP

中文摘要 场致发射显示(FED)是发光原理最接近阴极射线管(CRT)的一种平板显示器 件。它具有LCD的薄板厚度、CRT般快速的响应速度和较大的动态范围。而冷阴 极是FED的重要组成部分，冷阴极材料的研究一直受到人们的广泛关注。纳米晶 体硅(nc—Si)场致发射冷阴极作为全硅显示器件，与微电子工艺兼容，可集成到 大规模集成电路中，是显示器件的一个重大突破，被认为是最有前途的电子发射 极。 本文介绍了几种主流平板显示器的发展状况和场致发射冷阴极材料的研究 情况，阐述了场致发射的理论基础。研究了tic—Si薄膜的一些制备方法，并利用 激光烧蚀沉积和高温快速退火相结合的方法，在n—Si(4-5o·cm)衬底上生长了 透射电子显微镜(TEM)以及原子力显微镜(A硎)等测试仪器对nc-Si薄膜进行全 面的表征，发现制备的nc-Si量子点排列紧密、尺寸均匀，且具有很好的单晶结 构，制各的nc—Si薄膜晶化比例很高，证实可以通过退火温度来控制nc-Si量子 点的大小。对纳米硅冷阴极进行了场致发射特性的测试，提出了纳米硅冷阴极中 电子弹道发射的理论模型，并通过Ansys软件进行电场分布的模拟来证明。最后， 对实际生产中的墙式支撑问题进行研究，并用Ansys软件对两种不同方案进行模 拟比较。 关键词： 纳米晶体硅量子点场致发射冷阴极制各工艺微结构支撑 ABSTRACT the devices isone flat Field of emission paneldisplay display@ED)device tothe thickness whoseemissionisthemostdose theory cathode-raytube(CRT)．Its fits也c onthe andthe 8recloseto isthe5anle LCD．me responsedynamicscope speed materialattracts theCRT．n∞coldcathodeisthe oftheFEDwhose part important coldcathodeis fieldemission researchers，attention．Nanoerystallinesilicon(nc．Sn emitteranda inthe consideredasthemost electronic display promising breakthrough be tothemicroeleetronic whole device．becauseitCan compatible technique够a will the scale circuit． silicondeviceand be