溶胶-凝胶法制备铁电薄膜及发展趋势.pdfVIP

研窭 胶体凝胶法的凝胶一般 由金属盐溶液和金属氧化物或 括油脂 、松香 、蜡 、 去离子水：双氧水：氨水=5：2：1 氢氧化物溶胶得到 。这种凝胶化作用是 由溶胶 中的胶体颗 金属 、金属离子和灰 硅片放入混和液 粒之间的静 电或空间相互作用控制 ，所 以又被称为 “物理 尘 。以硅 基片 为例 ， 煮沸15rr13(两次) 方法”。 清洗步骤如 图3所示 。 根据采用 的原理和机理的不 同．聚合凝胶法进一步分 对于久置 的清洗 去离子水冲洗干净 为两大类 ：金属有机化合物的无机聚合凝胶法和有机聚合 过 的硅片可 以进行再 硅片放入蒸馏水中 物玻化凝胶法 。为了强调形成的聚合 网络的不 同，以下分 清洗 。将其置于烧杯 超声清洗15min 别简称为无机聚合凝胶法和有机聚合凝胶法 。它们 的基本 后加入适量 甲苯 ，超 硅片放入无水乙醇 目的都是要制备均匀的前驱体溶液 。进而得到均匀的凝 声清洗 lOmin，取 出， l 超声清洗15Ⅲin l 胶 ，也即所谓的 “化学方法”。 再依次用丙酮和无水 金属醇盐法是 目前应用广泛 的一种溶胶一凝胶方法 ． 乙醇超声清洗 10min。 硅片泡在无水乙醇巾 得到的材料性能优 良，合成和烧结温度大大降低 ，且适合 氧化铝衬底 的清洗和 图3 衬底清洗步骤 于纤维和膜 的制备 。但一般金属醇盐价格昂贵，且部分金 硅片一样。 属醇盐极易水解使得制备过程必须在干氮或干惰性气体等 4特点 苛刻条件下进行，导致制备过程复杂化 ，相应地设备成本 (1)化学均匀性好 。由于反应是在溶液 中进行，成分 也高 。正是这些 问题 ，阻碍了金属醇盐法在陶瓷工业 中的 均匀性可达分子或原子级。在水溶液的多组分体系中，若 大面积推广。 不 同金属离子在水解 中共沉淀 ．化学均匀性可达到原子水 有机聚合凝胶法 中有大量有机物 留在前驱体 中．会造 平 。对于醇溶胶体系，若金属醇盐的水解速度与缩合速度 成膜形成 的困难 ；另一方面 ，有机聚合凝胶法又有利于制 基本相当，则化学均匀性可达分子水平。 备复杂组成 的膜 。对 比金属醇盐法 ．有机聚合凝胶法 的原 (2)化学计量准确成分配 比精确可控 ，易于实现定 料成本较低 ．工艺过程 的环境条件较宽松 ，形成 的前驱体 量、均匀掺杂 ．且掺杂范围宽。 溶液相对稳定 。所 以很有必要加强有机聚合凝胶法 的研 (3)制备温度低 。后热处理所需温度较低 ，与半导体 究 ，形成与金属醇盐法的互补 。 工艺兼容性好 ，适于制成铁电集成器件。 (4)成本低 。设备简单 ，易 水解