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晶体生长5-晶体生长的动力学理论.pdf

Zhejiang Sci-tech University 晶体生长动力 晶体生长动力 学理论 学理论 席珍强 浙江理工大学材料工程中心 Email: zjuxzq@ Mobil: Center of Materials EngineeringCenter of Materials Engineering Zhenqiang XiZhenqiang Xi Zhejiang Sci-tech University 上节课内容 上节课内容 晶体生长的热力学 结晶的三个必要条件:过冷、结构、能量起伏 均匀形核 临界形核半径、形核功 非均匀形核 形核半径、形核功 影响晶体形核的一些因素 Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi Zhejiang Sci-tech University 晶体生长的动力学理论 晶核生长过程: 就是旧相原子或分子不断地进入新相晶体格 点上的过程。 动力学模型: 完整突变光滑面生长模型 非完整突变光滑面生长模型 杰克逊(Jackson )模型 Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi Zhejiang Sci-tech University 完整突变光滑面生长模型 完整突变光滑面生长模型 提出:1927年,柯塞尔,该模型又叫Kossel模型; 内容:以光滑界面为基础,一个中性原子在晶格上 的稳定性是由其受到周围原子的作用力大小决定的, 晶体表面上不同格点位置所受的吸引力时不相同的; 成功之处:解释硅外延技术; 缺点:不能解释低饱和浓度下的晶体生长; Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi Zhejiang Sci-tech University 简单立方晶体不同位置吸附原子所受的作用力 Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi Zhejiang Sci-tech University 二维形核自由能的变化: G G ΔG Δ +Δ s v =ΔG rh + r hπΔg σ 2π 2 v r 和 h 分别为二维晶核的半径和高度。 Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi Zhejiang Sci-tech University ∗ −σ 临界形核半径 r

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