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晶体生长5-晶体生长的动力学理论.pdf
Zhejiang Sci-tech University
晶体生长动力
晶体生长动力
学理论
学理论
席珍强
浙江理工大学材料工程中心
Email: zjuxzq@
Mobil:
Center of Materials EngineeringCenter of Materials Engineering Zhenqiang XiZhenqiang Xi
Zhejiang Sci-tech University
上节课内容
上节课内容
晶体生长的热力学
结晶的三个必要条件:过冷、结构、能量起伏
均匀形核 临界形核半径、形核功
非均匀形核 形核半径、形核功
影响晶体形核的一些因素
Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi
Zhejiang Sci-tech University
晶体生长的动力学理论
晶核生长过程:
就是旧相原子或分子不断地进入新相晶体格
点上的过程。
动力学模型:
完整突变光滑面生长模型
非完整突变光滑面生长模型
杰克逊(Jackson )模型
Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi
Zhejiang Sci-tech University
完整突变光滑面生长模型
完整突变光滑面生长模型
提出:1927年,柯塞尔,该模型又叫Kossel模型;
内容:以光滑界面为基础,一个中性原子在晶格上
的稳定性是由其受到周围原子的作用力大小决定的,
晶体表面上不同格点位置所受的吸引力时不相同的;
成功之处:解释硅外延技术;
缺点:不能解释低饱和浓度下的晶体生长;
Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi
Zhejiang Sci-tech University
简单立方晶体不同位置吸附原子所受的作用力
Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi
Zhejiang Sci-tech University
二维形核自由能的变化:
G G ΔG Δ +Δ
s v
=ΔG rh + r hπΔg σ 2π 2 v
r 和 h 分别为二维晶核的半径和高度。
Center of Materials Engineering Zhenqiang Xi
Zhejiang Sci-tech University
∗ −σ
临界形核半径 r
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