精密测量中的纳米计量技术.pdfVIP

第 33卷 第 5期 应 用 光 学 Vo1．33No．5 2012年 9月 JournalofAppliedOptics Sep．2012 文章编号：1002—2082(2012)05—0846—09 精密测量中的纳米计量技术 曾召利，张书练 (清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器 国家重点实验室，北京 100084) 摘 要 ：随着纳米科学的迅速发展 ，对纳米计量技术也提 出了更高要求。目前 ，纳米计量技术已 经实现在几十微米量程范围内具有亚纳米甚至皮米量级的测量分辨率。回顾 了现在主要 的纳 米计量技术，包括激光干涉仪、差拍 F—P干涉仪、X射线干涉仪、光学+x射线干涉仪、基于频率 测量技术和光频梳技术等 ，介绍了其工作原理、技术特点、应用范围及其最新研究进展。 关键词 ：纳米计量；干涉仪 ；光频梳 中图分类号：TN201；TB921 文献标志码 ：A doi：10．5768／JA02O1233．0501005 Nanometrologytechnologyinprecisionmeasurement ZENG Zhao—li．ZHANG Shu—lian (StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyandInstruments， DepartmentofPrecisionInstruments，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：W iththerapiddevelopmentofnanometerscience，therewillbemuchhigherstandard onnanometrologytechnology．Sofar，theuncertaintyofmeasurementcanberealizedsub-nan- ometerandevenpicometerintherangeofdozensofmicrometers．Thecurrentmaintechnolo— giesusedinnanometrologyhavebeenreviewed，which includethelaserinterferometer，beat frequencyF-Pinterferometer，X—rayinterferometer，opticalandX—rayinterferometer，frequen— cymeasuringsystem andopticalfrequencycombtechnology． Keywords：nanometrology；interferometer；opticalfrequencycomb 引言 计量技术按照量程 、分辨率和测量不确定度 的特 点，可 以分 为 两大 类 ：一 类 是激 光 干 涉仪 技 近年来 ，纳米科学与纳米技术发展迅速 ，已 术 ，其特点是量程大 ，可达几十米 ，但对小于 经成为研究最广泛、投入最多的科学技术领域之 半个光波长 的位移需要用 电子鉴相等细分方法 一 _1_3]。 纳米科学主要是研究、发现和加工结构 来实 现 ，由于 电子 噪声 等 非 线 性 误 差 的影 尺寸小于 i00nm 的材料 、器件和系统 ，以获得所 响[12-15]，半波长 以内的位移测量并不可靠 ；另一 需要 的功