超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响.pdfVIP

第 2O卷 第 9期 光学 精密工程 Vol_2O NO．9 2012年 9月 OpticsandPrecisionEngineering Sep．2012 文章编号 1004—924X(2012)09—2006—08 超声处理对 UV—LIGA工艺中SU一8胶溶胀的影响 杜立群 ，刘亚萍 ，李永辉 ，李成斌 (1．大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连，116024； 2．大连理工大学 辽宁省微纳米及系统重点实验室，辽-7大连，116024) 摘要 ：首次将超声处理引入 uV—IIGA工艺中，研究了超声处理对 SU一8胶模溶胀 的影响，并探讨 了其影响机理，从而获 得了减小胶模溶胀及提高电铸微器件尺寸精度 的方法 。试验研究了超声处理对显影过程及电铸过程 中SU一8胶模溶胀 的影响，分析 了不 同超声时间下 SU一8胶表面亲水性的变化趋势，并计算 了不同超声时间下胶模 的溶胀去除率 。讨论 了 超声处理对不同结构微器件尺寸精度 的影响。试验结果表 明：SU一8胶模在显影过程 中的溶胀不 明显，并且超声处理对 显影过程中胶模 的溶胀影响很小，其主要影响 SU-8胶模在 电铸过程 中的溶胀 。随着超声时间的增加 ，胶模溶胀及其表 面亲水性均呈现先减小后增大的趋势 。当超声时间为 10min时，胶模溶胀最小，其溶胀去除率 值可高达 7O％，并且超 声处理后电铸微器件的尺寸误差与结构尺寸无关 。根据超声波 的机械断键作用与聚合物吸水机理，从亲水性和 内应力 两个方面 ，探究 了SU一8胶模溶胀随超声时间的增加而变化 的原 因。文 中提 出的减小 SU-8胶溶胀的方法不依赖于工艺 参数也不会增加掩模 图形设计 的复杂性，是一种实用的减小 SU一8胶溶胀 的新方法 。 关 键 词 ：超声处理 ；SU一8光刻胶 ；溶胀 ；电铸 ；UV-LIGA 中图分类号 ：TN305．7；TB559 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2006 Effectofultrasonictreatment011SU-8swellinginUV-LIGA technology DU Li—qun ，。 ，LIU Ya—ping ，LIYong—hui。，LICheng—bin。 (1．KeyLaboratoryforMicro／NanoTechnologyandSystem ofLiaoningProvince． DalianUniversityofTechnology，Dalian116024，China； 2．KeyLaboratoryforPrecision Non—TraditionalMachiningTechnologyoftheMinistryof Education，DalianUniversityofTechnology，Dalian116024，China) *C0r]s0 gauthor，E-mail：duliqun@dlut．edu．cn Abstract：UltrasonictreatmentwasoriginallyintroducedintoUV—LIGA technologyinthispaper．The effectofultrasonictreatmenton SU一8 swellingwasresearched。andultrasonicmechanism ofSU一8 swellingwasexplored．Then，anovelmethodtoreduceSU一8 swellingandimprovethedimensional precisionofan electroformedmicrostructurewasobtained．In experiments，theeffectofultrasonic treatmentontheSU一8swellingduringthedevelopmentand electr