超光滑表面抛光技术.pdfVIP

维普资讯 第 24卷第 5期 江 苏 大 学 学 报 (自 然 科 学 版 ) VOI．24 NO．5 2003年 9月 JoumalofJiangsu University(NaturalScienceEdition) Sep．2003 超光滑表面抛光技术 陈 杨 ，陈建清 ，陈志刚 (1．江苏大学材料科学与-r程学院 ，江苏 镇江 212013；2．江苏工业学 院，江苏 常州 213016) 【摘 要]超光滑表面抛光技术是超精密加工体 系的一个重要组成部分 ，超光滑表 面在 国防和 民用 等领域都有着广泛的应用 ．文 中介绍 了超光滑表面的物理特征和应用 ，并根据抛光过程 中工件与 抛光盘之 间的接触状态 ，将各种抛光方法分为直接接触 、准接触和非接触 3类 ，对每一种抛光方法 作 了总体 的描述 ，详细地介绍 了近年来发展 的激光抛光技 术和化学机械抛光技 术及其超光滑表 面