其他微结构加工方法.pptVIP

* * 图5.1-16 微结构增强剂的横截面缩微照片，节距尺寸是100μm 微结构可以通过热压纹加工，而压纹工具是使用十字交叉V形槽压入模板制造的，然后在微结构的空穴内填充X射线增强剂，这样就完成了微结构X射线强化屏的制造[见图5.1-16]。 * * 5.2 放电加工(EDM) 放电加上或火花腐蚀加工是一种功能强大、多用途的技术。利用这种技术可以加工出三维微结构，可以加工钢、硬金属等导电材料，也可以加工陶瓷、硅等材料。 EDM适用于刀具制造和样机零件的高精度加工，从加工性质来看，这种加工技术不适用于大批量生产，但这种技术适合于制造冲模、注塑成型的金属型芯和热压纹模。 在几年前，这种技术在微型制造中的价值已经得到了承认，在此期间也生产了各种各样的产品，特别是加工了在医疗中需要的三维钛-镍合金线。 * * 5.2.1 放电加工基础 EDM是工具映像到工件的物理过程，由于在工具电极和工件电极之间的放电，发生电腐蚀，物质被蒸发。 两个电极被浸泡在绝缘液中，在两个电极之间加上一定的电压，并且相互接近，当超过击穿电压时，在电极之间就建立了等离子通道，结果是电极材料被蒸发。 这个过程可分成三个基本步骤：开始阶段、放电阶段和结束阶段。 * * 在开始阶段，产生等离子通道，主电流集中在通道的表面区域，由电子轰击通道的阳极面，少量的材料被气化； 在放电阶段，等离子通道进一步发展，主电流被限制在通道的很小的截面内，由于等离子放电产生的热能必然使两个电极一定量的材料被熔化和气化，在绝缘液中不断增加的气泡带走了金属蒸气； 在结束阶段，电流减小，由于等离子通道和气泡被破坏，蒸发的材料从两个电圾之间喷射出来。 整个过程依赖于对阳极(工件)材料和阴极(工具)材料腐蚀的不平衡性，否则的话就不可能得到精确的工件形状。 * * 抗腐蚀指标是用来测量工具寿命的，用下面的公式计算： 式中，λ为热传导率（W·K-1·m-1），c为单位热量值（J·m-3·K-1），Tm为熔点。 * * 高抗腐蚀指标的材料适合于制造EDM工具电极； 低抗腐蚀指标的材料最好做工件； 表5.2-1中给出了几种材料，既可以用于工具电极也可用作工件。 * * 一般有两种类型的EDM： 电火花成型加工； 电火花线切割加工。 * * 图5.2-1 EDM加工 （a）成型加工；（b）线切割加工 * * 图5.2-1是两种类型EDM的简图，在第一种情况下使用的是预先成型的工具电极，通常由石墨或铜制成，工件电极的形状以电腐蚀的形式复制到工件上。 在第二种情况下，以一条金属丝为切削工具使工件形成理想的形状。因为金属丝也会被腐蚀，在线切割机床上，金属丝通常由钨或铜制成，直径在25-300 μm ，为保证成型加工的精度，必须保证总是新的金属丝在切削工件表面。 * * EDM铣削是放电加工的一个变种，在EDM铣削时，工具电极沿X方向、Y方向和Z方向运动，在工件上生成理想的形状，EDM钻加工也一样，用一条导线作为电极，进入工件形成孔(见图5.2-2)。 图5.2-2 EDM加工的两种基本变形 （a）复杂三维形状的EDM铣制；（b）使用线电极的工件表面小孔加工 * * 通常使用矿物油或合成油作为绝缘液，尤其是在线切割微小尺寸时，有时使用去离子水作为绝缘液。 在电腐蚀加工中使用绝缘液有三个目的： 收缩等离子通道并且因此而提高能量密度； 除去腐蚀微粒； 电极的冷却。 * * 5.2.2 EDM在微系统中的应用 如图5.2-3所示，用直径为30 μm的钨丝．将一段直径为500μm的NiTi合金线加工成一个微型夹子，夹子的开口部位是弯曲的，以保证开口处于打开位置，在夹子上套了一段塑料管防止打滑。 * * 图5.2-3 微型夹子 (a)用线切割加工技术制造微型夹子；（b）直径为500的超弹性NiTi合金线制成的夹子的缩微照片 * * 图5.2-4是—个使用夹子在医疗导管上安装显微透镜的例子。 * * 借助于在腐蚀加工期间电极丝和工件相互之间的相对运动，可以加工出相当复杂的微型结构，如图5.2-4所示。 * * 5.3 激光微加工 在有些情况下，对于原硅、金刚石、石英、人造金刚石、玻璃、陶瓷和硬金属等材料采用普通的钻、铣机械加工方法是很困难的，激光微加工对这些材料的加工是非常方便的； 对于像硬度不高的聚合物等软性材料的加工，使用常规的机械加工手段加工会产生塑形流动，激光却能对其进行精确的加工，因为激光微加工所施加的力很小； 激光微加工也适合于精密和形状复杂的零件的加工； 同时激光微加工还适合于表面的亚微米加工； 能够加工传统方法难以加工的孔或空腔的形状和尺寸。 * * 激光微加工的原理 激光通过使工件表面受热熔化实现微加工。 使用光学系统，将激光束聚焦成直径只有几到几十微米的点，由于材料表面吸