串联分子泵获得10_9_Pa真空的实验研究.pdfVIP

4 42 VACUUM2003 7 -9 * 串联分子泵获得10 Pa 真空的实验研究 蔡晓红, 杨晓天, 曹柱荣, 张军辉, 卢荣春, 杨　威, 郝斌干 ( , 730000) -9 : 10 Pa , , , : ; ; : T L503. 7: B: 1002-0322( 2003) 04-0042-03 -9 Reaching the pressure of 10 Pa using two serial turbomolecular pumps