采用静态膨胀法校准标准漏孔极小漏率的不确定度评定.pdfVIP

真空与低温 第20卷 第2期 98 Vacuum Cryogenics 2014年 4月 采用静态膨胀法校准标准漏孑L极小漏率的不确定度评定 杨长青，李得天，冯 焱，成永军，赵 澜，魏万印 (兰州空间技术物理研究所 国防科技工业真空一级计量站，甘肃 兰州 730000) 摘要：采用静态膨胀法校准 1O。Pa·m ／s量级的真空标准漏孔，通过对校准结果的不确定度评定，发现被校漏 率产生的离子流上升率是不确定度的主要来源。与高纯气体三级膨胀的测量不确定度分量相比较，采用混合气体 二级膨胀的校准方式 ，能够减小膨胀过程对校准结果的影响，在简化了校准过程的同时，也提高了校准效率。 关键词：极小漏率；静态膨胀法 ；不确定度评定 中图分类号：TB774 文献标志码：A 文章编号：1006—7086(2014)02-0098-04 DOI：10．3969／i．issn．1006—7086．2014．02．008 UNCERTAINTY EVALUATIoN oF CALIBRATING EXTREM ELY LoW LEAK RATEWITHSTATICEXPANSIONTECHNIQUE YANGChang-qing，LIDe-tian，FENGYan。CHENGYong~un，ZHAOLan，WEIWan-yin (PrimaryStandardLaboratoryofVacuumNDM ，LanzhouInstituteofSpaceTechnologyandPhysics，Lanzhou 730000，China) Abstract：AnextremelylOW leakratecalibrationmethodbasedonstaticexpansiontechniquehasbeenusedtocalibrate avacuum leakof10_。。Pa ·m ／s ． Itwasfoundthen1easuIn1entuncertaintvmainlvcomesfrom theriserateofioncurrenta— bouttheleakage．Comparedwiththeuncertaintycomponentsofthreestagesexpansion methodwith highpuritygases，two stagesexpansionmethodwithgasmixturecanamelioratethecalibrationresuhsbyavoidingcomplexexpansionprocess，which simplifiedthecalibrationprocessandimprovedthecalibrationefficiencyalso． Keywords：extremelylow leakrate；staticexpansiontechnique；uncertaintyanalysis 0 引言 1 校准原理 静态膨胀法作为真空标准已有 100多年的历 静态膨胀法校准标准漏孔的极小漏率装置，由 史，现发展为校准电容薄膜真空计 、磁悬浮转子真空 真空抽气系统 、前级压力测量系统、气体压力衰减系 计等高精度真空测量仪器的真空计量标准 j。利 统、质谱计、监测真空计以及非蒸散型吸气