铜微沟道热沉精密加工技术研究.pdfVIP

第28卷 第9期 重 庆 理 工 大 学 学报(自然科学) 2014年9月 Vo1．28 No．9 JournalofChongqingUniversityofTechnology(NaturalScience) Sep．2014 doi：10．3969／j．issn．1674—8425(z)．2014．09．011 铜微沟道热沉精密加工技术研究 杨文韬 ，梁一平。，王立威 ，韩文娟 ， (1．六盘水师范学院物理与 电子科学系，贵州 六盘水 553004； 2．六盘水市光电信息技术重点实验室，贵州 六盘水 553004； 3．重庆师范大学 物理与电子工程学院，重庆 400047) 摘 要：微沟道传热技术是当前国际传热领域研究的前沿，在大功率半导体激光器歹Il阵、大 型计算机芯片冷却等领域具有广泛的应用前景。为了克服有成熟加工技术的硅微沟道导热系 数不高的缺陷，解决普通铜沟道机械加工技术中加工切向应力对沟道壁的破坏无法获得小于 300ixm的沟道壁以及机械加工后毛刺对制冷流体工质阻力极大的问题，对导热系数更高的铜 微沟道的沟道加工工艺进行了研究。利用机械雕刻和化学腐蚀相结合的方法，获得一种简单的 机械 一化学二次加工工艺，实现了对铜微沟道的精密加工，满足微沟道壁薄、沟道光滑的技术要 求，且价格便宜、制作工艺简单。 关 键 词 ：传热；铜微沟道；精密加工 中图分类号：TB657．5 文献标识码 ：A 文章编号：1674—8425(2014)09—0048—40 CopperM icro—channelHeat-sinkAccurateProcessing TechnicsResearch YANGWen—tao’ ，LIANGYi—ping，WANGLi—wei ，HANWen-juan， (1．CollegeofPhysicsandElectronicScience，LiupanshuiNormalUniversity， Liupanshui553004，China；2．TheKeyLaboratoryofOpto—electronicInfomr ation TechnologyofLiupanshuiCity，Liupanshui553004，China；3．CollegeofPhysicsand Electronicscience，ChongqingNormalUniversity，Chongqing400047，China) Abstract：Themicro·channelheatconductionwasthe leading edge ofinternationaltransferheat searchfield．Therearegoodprospectscoolingforhighpowerdiodelaserarray largecomputerCPU andSOon．Inordertoovercomethedrawback，poormaterialconductivityofsiliconmicro-channelin whichprocessingtechnologiesarewellestablished，thispaperhassearchedforanew processingtech一 收稿 13期 ：2014—04—19 基金项目：国家 自然科学基金资助项 目；贵州省教育厅科技创新人才支持计划项 目(黔教合 KY字 [2013]146)；六盘水师范学院大学生创新训练项 目(201208) 作者简介 ：杨文韬(1976一)，男 ，四川蓬安人，硕士 ，讲师，主要从事光器件及其应用研究。 引用格式：杨文韬，梁一平，王立威，等．铜微沟道热沉精密加工技术研究 [J]．重庆理工大学学报：自然科学版，2014 (9)：48—5