阳极氧化法制备透明氧化铝薄膜的研究.pdfVIP

第42卷第 7期 广 州 化 工 V01．42No．7 2014年4月 GuangzhouChemicalIndustry Apr．2014 阳极氧化法制备透明氧化铝薄膜的研究 李德贵，陈千律 (百色学院物理与电信工程系，广西 百色 533000) 摘 要 ：以铝箔为阳极，石墨为阴极，草酸为电解液，采用二次阳极氧化法制备透明氧化铝薄膜。采用金相显微镜观察一 次阳极氧化和二次阳极氧化后氧化铝薄膜的表面形貌，并用x射线衍射仪对氧化铝薄膜结构进行表征。结果表明，二次阳极氧化 工艺对氧化铝薄膜的质量有重要的影响。采用退火一除油一浸蚀 一电化学抛光 一一次阳极氧化 一二次阳极氧化工艺，并严格控制 工艺参数，可以制备结构 良好的透明氧化铝薄膜，且氧化铝薄膜是非晶态结构。 关键词 ：透明氧化铝薄膜；阳极氧化；草酸 中图分类号：TB321 文献标志码 ：A 文章编号：1001—9677(2014)07—0051—03 StudyonPreparationofTransparentAluminaFilm withAnodicOxidationProcess LIDe—gui．CHENQian—lv (DepartmentofPhysicsandCommunicationEngineering，BaiseUniversity，GuangxiBaise533000，China) Abstract：Transparentaluminafilmswerepreparedbytwo—stepanodieoxidationmethod，withaluminum foilas anode，graphiteascathode，andoxalicacidastheelectrolyte．Thesurfacemorphologyofaluminafilm wasanalyzedby opticalmicroscopyafterfirstandsecondanodicoxidation，andthestructureofaluminafilm wascharacterizedbyX ray diffraction．Theresuhsshowedthatthequalityofaluminafilm wasinfluencedstronglybytwo—step anodicoxidation process．Aluminafilm withhigh qualitycould beprepared with annealing—oilremoval— etching— electrochemical polishing—firstanodicoxidation—secondanodicoxidationprocessandtheprocessparameterscontrolledstrictly，andthe aluminafilm wasamoprhoussturcture． Keywords：transparentaluminafilm；anodization；oxalicacid 氧化铝薄膜具有光学性能优良、透明性与绝缘性好 、机械 学气相沉积法、金属有机化学气相沉积法、溶胶 一凝胶法、原 强度与硬度高、耐磨及抗腐蚀性能好、高温稳定性好、化学惰 子层沉积法、脉冲激光沉积法、阳极氧化法等。通过阳极氧化 性强等功能特性，是一种理想的功能性薄膜材料 ，在纳米科 法不仅可以制备出形状规则整齐的多孔膜 ，而且通过调整阳极 技 、光学、机械、催化剂、分离及微电子等领域有着广泛的应 氧化工序的各种参数和工艺条件 ，制备出各种孔径大小和厚度 用 J。目前 ，氧化铝薄膜的制备、结构、机理及其应用的已 不一的氧化铝薄膜，在工业上可以大面积制取。为进一步研究 成为研究的热点，中科院刘虹雯等 对阳极氧化铝模板表面 自 阳极氧化法制备