基恩士VKXD激光扫描显微系统.pdfVIP

3D LASER SCANNING MICROSCOPE VK-X 应用指南 量化特性分析 使用 VK 的自动测量功能可以自动检测峰谷间的高度和宽度，避免测量中存在用户主观判断。 根据针对高度或反射激光强度轮廓图所设定的阈值 检测测量结果。 使用VK-X 可快速将形状数值 化。自动计算面积、周长、最小 直径、最大直径及其他各种测 量。 使用业界最佳的 16 位 PMT ， 即使样本的侧壁陡峭到干涉仪 都无法捕获，VK 也能获得有 关样本的精确数据。 2 高纵横比 即使是触笔尖端轮廓仪堵塞或无法触及的高纵横比零件，也可以使用 VK 激光显微系统进行全面分析。 3 直线及表面粗糙度测量 即使样本的表面弯曲，也可以完成直线及表面粗糙度测量。用户可以指定测量区域，也可以根据高度或彩色阈值从图像中提 取测量区域。 摩擦和磨损 使用 VK-X 的体积测量功能可以轻松量化材料损失。 4 比较分析 可以瞬间完成零件的比较，以便进行合格零件/ 问题零件的 定量分析。轮廓图可以覆盖，且两个零件的图像可以并排显 示以便即时查看比较情况。 使用 VK-X 的比较测量功能可以轻松直观地显示零件在使用前 后的差异。 无损薄膜厚度 使用 VK-X 系列的薄膜厚度功能可以通过非破坏性方式捕获 和分析来自多层的数据。 可以完成直线及表面薄膜扫描，以便进行全面的表面分析。 5 原理结构 彩色 CCD 摄像机 半透半反镜 短波形 激光光源 集光镜 X-Y 扫描 半透 光学系统 半反镜 针孔 用于照明的 白色光源 半透 光接收元件 半反镜 （光电倍增管） 物镜 检查物体 6 以 2 个光源为基础获取必要信息 激光显微系统采用了“激光光源”和“白色光源” 2 路光源方式。通过这 ２ 个光源获得构建彩色全焦点图像、激光全焦点