α+β型生物钛合金磁控溅射TiN涂层磨损性能.pdfVIP

第 38 卷第3 期 稀有金属材料与工程 Vo 1.38, No.3 RAREMETAL如~TE~SANDENGmEEruNG March 2009 2ω9 年 3 月 α+p 型生物钦合金磁控溅射 TiN 涂层磨损性能 郭爱红 1 气崔文芳 1 ，刘向宏 2; 用廉2 (1.东北大学教育部材料各向异性和织构3重点实验室，辽宁沈阳 110004) (2. 西北离色金属研究院，陕西西安 710016) 摘 要z 为提高 Tí6Al刑b 含金耐磨傲，采用磁控溅射技术在合金表团制备了 TiN 涂居，通过扫描电镜、光学跟微镜、 X 射线衍射仪和销·撒式磨损实验研究了涂层的相结构和磨损性能。结果表明g 涂层与基材结合良好，涂层的成分与结 构随溅射时间而变化.溅射 3h 时，涂层剧表及盟的相组成依次为 TiN、 TiN+TÎ2N、 TÎ2N. 其中 TiN 层硬度提高至慕材 的 3 倍。在 10-40 N 载荷下涂层明显改善了含金的抗磨损性.表面改性质含金的磨损机制由原来的氧化磨损+粘着麟损 转变为以麟粮磨损为主。 关键询: Ti6Al市b 含金1 磁按溅射; TiN 涂屈;耐磨性能:磨损机制 中阁法分言是号: TG1 46.t3 文献标识码:A 文穰编号: l002-185X(2009)03-0473-04 Ti6A17Nb含金以其低毒性，良好的力学性能和生 基材 Ti6AI7Nb含金热锻棒材由西北有色金属研 物相容性，优异的疲劳及耐腐蚀性能等特点而被越来 究院提供。将基片用 SiC 砂纸打磨当~ 2000仇抛光， 越多地应用于牙齿瞎形外科的植入体材料或人工关节 两酣皑声波清洗 15 min 后来用多功能真空镀膜设备 的瞥代材料[1刑。然而，由于做含金的低耐磨性使得材 制备 TiN 涂腿。以纯度为 99.9%金属饮靶作为溅射靶 料在使用过程中容易产生过度靡损而发生早期失效。 材，纯度为 99.99%的 Ar 气作为工作气体，鲍度为 因此，布必要在Ti6A17Nb合金表面除镀具有良好的生 99.99%的问作为反应气体，采用直流反应磁控溅射制 物相容性和耐磨损性、涂层，以提高真使用寿命。实骑 备方法在基材试样上沉积 TiN 涂层，靶句试样的距离 为 10 cm. 溅射前本底真贯度在 5X 10.3 Pa 以上。镀膜 证明: TiN涂层能够有般地提高生物怯含金的耐磨和 耐蚀性[4] 。目前常用的制备TiN除居的方法有CVD、多 过程中，对基体施加插~偏压，真舍章应强 0.2~1 Pa. 3 弧离子镀、空心阴极商子镀、簿离子体植入等技术[口5，6 Ar气和 N 的流量分别为 10 cm /s 和 22cm怡，阳极功 2 其中CVD方沽凯积晶形完好的丁TiN薄腆需要1川00佣O C以 率 400W. 榄度 573 K. 溅射时间分别为 1. 2. 3 h。 j上二的商撒，多弧离子镀、~心阴极离子镀也需要 在 MG幡2000 搜销皿撒式麟损试验机上考沓表团改 500-600 .C 的祖度，而高的处现也度会严慧影响