电沉积镍薄膜早期形核生长的计算机模拟 - 南华大学学报·社科版.pdf

第29卷第2期 南华大学学报(自然科学版) Vol郾29 No郾2 2015年6月 Journal of University of South China(Science and Technology) Jun郾2015 文章编号:1673-0062(2015)02-0091-06 电沉积镍薄膜早期形核生长的计算机模拟 黄跃宇 (南华大学 数理学院,湖南 衡阳421001) 摘摇 要:介绍了动力学蒙特卡罗方法模拟薄膜生长的基本理论,对电沉积镍薄膜早期 形核生长进行了模拟,发现镍薄膜的亚单层生长可以分为四个阶段,随着基底温度的 上升,岛的密度减少,岛的尺寸增大,岛的分形维数增大;随着沉积率的上升,岛的密 度上升,岛的尺寸减小,岛的分形维数减小;随着覆盖率的增加,岛的尺寸增大,分形 维数不变. 关键词:电沉积镍薄膜;动力学蒙特卡罗;岛密度;岛尺寸;分形维数 中图分类号:TB383摇 摇 摇 文献标识码:A The Computer Simulation of Early Nucleation and Growth of Electrodeposited Ni Thin Films HUANG Yue鄄yu (School of Mathematics and Physics,University of South China,Hengyang,Hunan421001,China) Abstract:The paper introduces the theory that simulates thin film growth with the kinetic Monte Carlo method.The simulations of submonolayer growth of electrodeposited Ni thin filmswith KMCmethoddiscoverthattherearefour growthrules.Firstly,thegrowth of sub鄄 monolayer canbecarriedoutinfour stagesaccordingtoislanddistribution.Secondly,when substructure temperature increases,the island density decreases,the island size increases and the fractal dimension enlarges.Thirdly,when deposition rate raises,the island density increases,the island size decreases and the fractal dimension reduces.Fourthly,when cov鄄 erage increases,the island size increases and the fractal dimension is constant. key words:electrodeposited Ni thin film;the kinetic Monte Carlo;island density;island size;fractal dimension 收稿日期:2014-10-10 基金项目:衡阳科技局基金资助项目(2012KJ23);南华大学博士基金资助项目(2011XQD25) 作者简介:黄跃宇(1974-),男,湖南娄底人,南华大学数理学院讲师,博士.主要研究方向:材料计算. 92