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平板集热器用光谱选择性吸收涂层工艺技术 - 兰州交通大学学报.pdfVIP

平板集热器用光谱选择性吸收涂层工艺技术 - 兰州交通大学学报.pdf

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    第卷第期兰州交通大学学报年月文章编号平板集热器用光谱选择性吸收涂层工艺技术孔令刚范多旺王成兵令晓明兰州交通大学国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心甘肃兰州摘要介绍了自行研制的国内首条宽幅空到空卷对卷结构连续真空镀膜生产线并在铜铝带材上连续沉积钛基选择性吸收涂层通过反应气体的分压控制实现多级溅射法制备多层膜系过程中各单层膜厚和组分的精确控制强化了吸收层间的干涉效应改善了涂层的光学性能同时保证了工艺过程的稳定性和可重复性涂层的吸收率为发射率为关键词选择性吸收涂层平板集热器工艺过程控制真空连续镀膜中

    第 卷 第 期 兰 州 交 通 大 学 学 报 ３２ ３ Ｖｏｌ．３２Ｎｏ．３ 　 年 月 ２０１３ ６ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＬａｎｚｈｏｕＪｉａｏｔｏｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｊｕｎｅ２０１３ 　 　 　 ｇ ｙ 　

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