AlN 陶瓷表面钛金属化沉积的动力学研究.PDF

DOI :10.16552/ki.issn1001-1625.2004.01.002 　 　2004 1 AlN 1 2 1 　 　 1 2 (, 　530006;, 　100084) 　　　　利用融盐热歧化反应进行了氮化铝陶瓷表面钛金属化沉积的动力学研究。结果表 , 氮化铝陶瓷表面钛膜的厚度随着反应温度和反应时间的增加而增加, 膜的厚度与反应时间成很好的线 性关系, 沉积速率与融盐中K TiF 的起始浓度成线性关系, 沉积过程是受融盐与氮化铝陶瓷基体之间的 2 6 界面反应控制。其沉积过程的活化能为130kJ/mol。 　氮化铝陶瓷　歧化反应　金属化　动力学 　　, 。 SiC BeO,