TOF-SIMS 二次离子光学系统仿真研究 - 中国测试.PDF

第42卷第1期 中国测试 Vol.42 No.1 2016年 1月 CHINA MEASUREMENT TEST January，2016 doi院10.11857/j.issn.1674-5124.2016.01.028 TOF-SIMS二次离子光学系统仿真研究 1 1 1 2 1 1 2 刘晓旭 袁 齐国臣 袁 包泽民 袁 Stephen Clement 袁 邱春玲 袁 田 地 袁 龙 涛 （1.吉林大学仪器科学与电气工程学院，吉林 长春 130022；2.中国地质科学院地质研究所，北京 100037） 摘 要院为实现飞行时间二次离子质谱仪渊TOF-SIMS冤对二次离子束的提取并提高仪器的调试效率袁采用离子光学仿 真软件SIMION 8.0对TOF-SIMS二次离子光学系统进行仿真遥 以稳定同位素铜离子为对象袁通过仿真袁研究二次离 子光学系统中二次离子提取系统透镜电极电压的调整对质量分辨率的影响袁确定最佳透镜电极电压组合,并得到稳定 同位素铜离子的仿真谱图遥仿真研究表明院当初级提取电极电压为800V尧单透镜有效电极电压为-4400V时袁质量分 辨率最高遥在TOF-SIMS实验平台上对铜样品靶进行实验测试袁实验与仿真结果相吻合袁表明设计的二次离子光学系 统可用于TOF-SIMS仪器的二次离子束提取袁为实验参数的选择提供参考袁从而提高仪器调试效率遥 关键词院飞行时间二次离子质谱仪曰二次离子光学系统曰仿真曰透镜电极电压曰质量分辨率 文献标志码院A 文章编号院1674-5124渊2016冤01-0130-04 Simulation research of secondary ion optical system in TOF-SIMS 1 1 1 2 1 1 2 LIU Xiaoxu ，QI Guochen ，BAO Zemin ，Stephen Clement ，QIU Chunling ，TIAN Di ，LONG Tao （1.College of Instrumentation and Electrical Engineering，Jilin University，Changchun 130022，China； 2.Institute of Geology，Chinese Academy of Geological Science，Beijing 100037，China） Abstract: In order to extract secondary ion beams with TOF-SIMS and improve its commissioning efficiency，this paper has simulated the secondary ion optical system in TOF-SIMS based on ion optical simulation software SIMION 8.0. Taking stable isotopic copper ions as the study objects， this paper simulated what would happen to the mass resolution after the adjustment of electrode voltage in the secondary ion extraction system，determined the best combination of electro