原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
一款基于解调信号相位矫正技术的低噪声微陀螺接口-电子与信息学报
第35 卷第10 期 电 子 与 信 息 学 报 Vol.35No.10
2013 年10 月 Journal of Electronics Information Technology Oct. 2013
一款基于解调信号相位矫正技术的低噪声微陀螺接口电路芯片
吴焕铭①② 杨海钢*① 尹 韬① 吴其松①
①(中国科学院电子学研究所 北京 100190)
②(中国科学院研究生院 北京 100049)
摘 要：该文针对设计了一款基于解调信号相位矫正技术的低噪声微陀螺接口电路芯片。读出电路采用全差分跨阻
放大器结构优化噪声性能，获得了0.63 aF/ Hz 的等效输入电容噪声。检测通路中采用双通道正交解调技术和解
调信号相位矫正技术，完全消除了机械正交信号的干扰。芯片在0.35 μm CMOS 工艺下实现，与电容式微陀螺的
联合测试表明，微陀螺系统的输入等效噪声为0.01º/s/ Hz ，在8.5 mV/º/s 标度因子和5 V 供电电压条件下，
陀螺量程达到了±200º/s，线性度为2 ‰。
关键词：电容式微陀螺；跨阻放大器；解调信号相位矫正
中图分类号：TN432 文献标识码： A 文章编号：1009-5896(2013)10-2524-08
DOI: 10.3724/SP.J.1146.2012.01511
A Low Noise Micro-gyroscope Interface Circuit on Chip with
Demodulation Signal Phase Calibration Technique
①② ① ① ①
Wu Huan-ming Yang Hai-gang Yin Tao Wu Qi-song
①
(Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China)
②
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China)
Abstract: A low noise interface circuit on chip is designed for capacitive micro-gyroscope with demodulation signal
phase calibration technique. Fully differential trans-impedance amplifier structure is adopted in the readout
circuits to optimize the noise performance, which achieves an equivalent input capacitive noise of 0.63 aF/ Hz .
Dual channel quadrature demodulation technique and demodulation signal phase calibration technique are
simultaneously applied to the sense channel, so that the interference of the mechanical quadratu
文档评论（0）