一种片外驱动微拉伸测量技术研究 - 中国机械工程.pdfVIP

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2017-09-03 发布于天津
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一种片外驱动微拉伸测量技术研究 - 中国机械工程.pdf

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一种片外驱动微拉伸测量技术研究 - 中国机械工程

中国机械工程第卷第期年月上半月 20 7 2009 4 一种片外驱动微拉伸测量技术研究张段芹褚金奎侯志武王立鼎暋暋暋 , , 大连理工大学大连 116023 : , 。摘要针对微尺度下构件的力学性能测量问题搭建一种片外驱动微拉伸测试装置该测试装置具 , ; , 有高精度的力载荷与位移检测能力精度分别达毫牛级和亚微米级可在线标定装置的刚度系数利用。、弹簧串联模型获取试样的拉伸变形在微构件轴向对准夹持方面采用凹凸台载物片与松香乙醇溶 - , 、。液粘合的方式有效提高了微拉伸测试技术的精度可靠性与重复性利用该装置可测量微构件的弹性、。暣暤 , 模量断裂强度等力学性能用该装置测量了单晶硅梁在 110晶向上的弹性模量并分析了装置的测量误差。 : ; ; ; 关键词微拉伸测试轴向对准弹性模量单晶硅中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TB302暋暋暋 1004 132X200907 0860 05 AnOff-chiActuatedTensileTestDeviceforMicroscaleMechanicalTestin p g Zhan Duanin暋ChuJinkui暋Hon Zhiwu暋Wan Lidin g q g g g , , DalianUniversitofTechnolo Dalian 116023 y gy : AbstractAnoff-chiactuatedtensiletestdevicewasdeveloedforthemechanical roerties p p p p characterizationofmicromechanicalstructures.Aloadcellwitha0灡25mN- recisionlevelandadis灢 p lacementsensorwith0灡1m- recisionlevelwereeui ed.Elasticcoefficientofthetensiletester p