低噪声CMOS 图像传感器的研究Study on Low Noise Detector.PDF

电子发烧友 电子技术论坛 低噪声 CMOS 图像传感器的研究 王旭 刘成 北京地太科特电子技术有限公司，北京 100102 摘要：近年来 CMOS 图像传感器在医疗和工业 CT 等领域中得到了越来越广泛的应用。作为 CMOS 图像传感器的前端处理电路，多通道积分器阵列的性能参数直接决定了传感器的成像 质量并成为该领域的研究热点。本文的主要研究内容是低噪声探测器的研究。对芯片的测试 结果表明，低噪声探测器的电路设计和版图设计均取得初步成功，基本达到预期的设计目标。 关键词：CMOS 图像传感器，积分器阵列，噪声传递 Study on Low Noise Detector Abstract: With the advance of semiconductor technology and the development of multimedia techniques, CMOS image sensor is extensively used in medical and other industrial fields. Integrator array is the front-end processing circuit of CMOS image sensor, whose performance directly determines the image quality generated by the sensor. Currently, the integrator array already become one research hot spot. The main works of this article focused on the low noise detector design and implementation. The test results show that the expected goals of the chip can be met. Key words: CMOS image sensor, integrator array, noise transfer 1 序言 上个世纪 70 年代，出现了三种典型的固体图像传感器—电荷耦合器件 (Charge Coupled Device，CCD) 、电荷注入器件（Charge Injected Device，CID）、光敏 二极管阵列（Photodiode Array，PDA）。到 80 年代中期，基于这三种固体图像传感器技术 的工业和民用产品逐渐投放市场。在这三种固体图像传感器中，CCD 发展最为迅速。CCD 是 在 MOS (Metal Oxide Semiconductor) 晶体管电荷存储器的基础上发展起来的，它是一个 多栅 MOS 晶体管，即在源与漏之间密布许多栅极、沟道极长的 MOS 晶体管。CCD 的概念提出 以后，它的潜力被许多科技工作者所认识，所以在很短的时间内几乎所有的电子学领域都提 出了应用的设想：如根据 CCD 存贮电荷的能力直接提出了 CCD 记忆电路和逻辑电路的方案； 电荷作信息载体的优越性导致了它用作信号处理的许多建议；硅探测可见光辐射的能力，使 人们很快形成了 CCD 图像传感器的概念。随着 CCD 应用范围的扩大，其缺点逐渐显露出来。 问题之一是 CCD 光敏单元阵列难与驱动电路及信号处理电路单片集成，不易处理一些模拟 和数字功能，这些功能包括模/ 数转换器、精密放大器、存贮器、运算单元等元件的功能。 问题之二是 CCD 阵列驱动脉冲复杂,需要使用相对高的工作电压，不能与深亚微米超大规模 集成（VLSI）技术兼容。为此，人们又开发了另外几种固体图像传感器技术，其中，最有发 展潜力的是采用标准的 CMOS 工艺技术来生产图像传感器，即 CMOS 图像传感器。 CMOS 图像传感器的核心部分包括：光敏感元件阵列、CMOS读出电路，即积分器阵列、 电子发烧友 电子技术论坛 A/D 转换电路、数字图像处理电路，如图 1 所示。光敏元件感光生成光电流；积分器阵列读 入光电流进行积分处理，把光电流转换成电压信号并