共面波导S 参数标准样片研制与基于几何量的定标技术研究.PDF

第 11屆 海峽兩岸計量學術研討會 A00-0000 2016 年 11月 1日 ~ 3日 臺灣 ‧桃園 ‧中壢 中原大學 共面波导 S 参数标准样片研制与基于几何量的定标技术研究 殷玉喆 张旭勤 阚劲松 王酣 工业和信息化部电子工业标准化研究院 计量与检测中心 E-mail: yinyz2008@ 摘要 （陶瓷）衬底上实现的共面波导形式的开路短 固态微波共面波导标准样片是用于共面波 路负载直通（ SOLT ）或直通反射传输线（TRL ） 导 S 参数复现及微波探针校准与检定的关键标 校准片，典型如 Cascade 公司的 101-190 标准样 准物质，类比于无支撑空气线对同轴 S 参数复 片。计量级标准样片通常在 GaAs衬底上实现， 现的基础地位。本文研制了 CESI 8180/8190型 除了有校准模块，还有标准衰减等检验模块， GaAs衬底计量级标准样片，具有“无支撑空气 可以用于探针台的检定，典型如美国 NIST的 线＂、纯几何结构及非纯几何结构实现的衰减 RM8130 标准样片，并配以专属的 Multi-Line 校 驻波及驻波模块， SOLT及 TRL 校准模块。本 准算法。标准样片的研制与定标算法和自动校 文还研制了 CESICalkit自动校准软件，实现了 准软件是决定在片测试系统准确可靠的关键因 基于几何量的衬底电参数(有效介电常数及损耗 素，是共面波导和微带电路 S 参数复现及校准、 角正切 ) 、微波探针S 参数及共面波导 S 参数的 检定装置研建所必须攻克的技术，但国内目前 校准和定标，无需依赖其他预先定标的标准样 缺乏相关技术。本文研制了 CESI 8180/8190型 片和微波探针。CESICalkit 去嵌入结果与 NIST GaAs衬底计量级标准样片，具有“无支撑空气 8130衰减管芯 S 参数的 S21模值比对试验结果 线＂、纯几何结构及非纯几何结构实现的衰减 表明，6GHz～26.5GHz 之间差别在 0.1dB 以内。 驻波及驻波模块， SOLT及 TRL 校准模块。本 26.5GHz 以上时，最大误差在0.2dB 以内。6GHz 文还研制了 CESICalkit自动校准软件，实现了 以下时，最大误差在0.4dB 以内。本算法采用 基于几何量的衬底电参数(有效介电常数及损耗 单线 TRL ，没有分段或多线TRL常见的“接 角正切 ) 、微波探针S 参数及共面波导 S 参数的 缝＂误差，而且对不同传输线长结果一致性很 校准和定标，无需依赖其他预先定标的标准样 好。 片和微波探针。 關鍵詞 ：固态微波，共面波导，S 参数，标准 2. CESI 8180型 GaAs 标准样片的研制 样片、计量。 美国NIST商业化了计量级 GaAs衬底 1. 前言 RM8