用于低犵状值微惯性开关的低刚度平面微弹簧设计与制作 - 光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ３ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．３ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ３ Ｍａｒ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０３０６２００８ 　 用于低 值微惯性开关的 狀 犵 低刚度平面微弹簧设计与制作 王 超，陈光焱，吴嘉丽 　 （中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳６２１９００） 摘要：针对低 值微惯性开关对微弹簧系统刚度的要求（ ／ 数量级），设计了一种基于平面矩形螺旋梁结构的 ０．１ １Ｎ ｍ ～ ｎ 犵 平面微弹簧。假设材料均匀、连续且具各向同性，根据材料力学的卡氏定理和线弹性理论，推导得到了微弹簧的弹性系 数计算公式，并根据 ＡＮＳＹＳ有限元仿真分析结果对其进行了修正。基于多层高深宽比硅台阶刻蚀方法，采用 ＭＥＭＳ 体硅加工工艺，完成了微弹簧的制备，划片后微弹簧芯片尺寸为 ７ｍｍ×７ｍｍ×０．３ｍｍ。分析结果表明，完善后的弹性 系数计算公式与 ＡＮＳＹＳ仿真结果更为接近，可直接应用于微弹簧的结构优化设计以简化设计过程。纳米压痕法的测 试结果表明，微弹簧样品的弹性系数约为 ／ ，满足设计要求。该微弹簧具有体积小、结构简单、加工容易实现等 ０．５５４Ｎ ｍ 特点，其成功研制为实现低 值微惯性开关的工程实用化奠定了基础。 ｎ 犵 关 键 词：平面微弹簧；低刚度微弹簧；平面矩形螺旋梁；微惯性开关；微机电系统 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＭ５６４ＴＨ７０３．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０６２０ 　　 　　 犇犲狏犲犾狅犿犲狀狋狅犳犾犪狀犪狉犿犻犮狉狅狊狉犻狀 狆 狆 狆 犵 狑犻狋犺犾狅狑狊狋犻犳犳狀犲狊狊犻狀犾狅狑 犿犻犮狉狅犻狀犲狉狋犻犪犾狊狑犻狋犮犺 狀 犵 ， ， ＷＡＮＧＣｈａｏ ＣＨＥＮＧｕａｎａｎ ＷｕＪｉａｌｉ