亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析 - 发光学报.pdfVIP

第34卷摇 第7期 发摇 光摇 学摇 报 Vol郾34 No郾7 2013年7月 CHINESEJOURNAL OF LUMINESCENCE July,2013 文章编号:1000鄄7032(2013)07鄄0935鄄05 亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析 * 郑改革 ,詹摇 煜,曹摇 焜,徐林华 (南京信息大学 物理与光电工程学院,江苏 南京摇 210044) 摘要:利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了周期为1滋m、占空比为0.2 的亚波长金属光栅,利 用紫外鄄可见鄄近红外光谱仪测量了光栅的0级反射光谱。 在严格耦合波分析的基础上,把光栅区域电磁场的 空间谐波通过勒让德多项式展开,使用多项式展开的谱分析法求解常微分方程,计算了该亚波长金属光栅的 反射光谱及磁场分布。 实验测量结果同矢量衍射理论计算结果都显示,该光栅