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含si-op 键的减反膜结构及性能影响因素研究 - 无机材料学报
第29 卷 第6 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 29 No. 6
2014 年6 月 Journal of Inorganic Materials Jun., 2014
文章编号: 1000-324X(2014)06-0639-06 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2014.13416
含 Si−O−P 键的减反膜结构及性能影响因素研究
王 燕, 王红宁, 陈若愚
(常州大学 石油化工学院, 常州213164)
摘 要: 采用SiO 水溶胶(ACS)为硅源, H PO 为桥联剂, H O 为活化剂在玻璃表面成功制备了一种性能优异的新
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型减反膜。利用FTIR 、XRD 、FESEM 、TEM 、AFM 对薄膜结构、形成机理及性能进行了研究, 结果表明, 在成
胶过程中, H O 的导入有效修复了SiO 胶粒的表面羟基, 提高了SiO 的反应活性; 而在焙烧过程中, H PO 通过
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其自身脱水形成的偏磷酸链状体分别与 SiO2 胶粒及玻璃基底表面的 Si−OH 进行了脱羟基缩聚, 构架了坚固的
Si−O−P 网络交联, 最终形成了稳定的磷硅酸盐凝胶网络结构, 提高了成膜质量。当n(H PO ) : n(H O ) : n(EtOH) :
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n(SiO2) = 0.49: 0.52: 30: 1 时, 制备的SiO2 减反膜在可见光区平均透光率高达98%, 硬度可达6H 。
关 键 词: SiO2 水溶胶; 磷酸; 双氧水; Si−O−P 桥键; 减反膜
中图分类号: TB34 文献标识码: A
Structure of Antireflective Films with Si−O−P Bonds and Impact
Factors on Its Performance
WANG Yan, WANG Hong-Ning, CHEN Ruo-Yu
(School of Petroleum Chemical, Changzhou University, Changzhou 213164, China)
Abstract: An antireflective (AR) film was successfull
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