可用于超精细加工的高重复率、高光束质量飞秒再生放大脉冲.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 0( ##3 ， ， ， MCA )0( LC ) *B.@BN ##3 （ ） ###6(’#G##3G0( # G##%!6#$ FDHF E,IJKDF JKLKDF ##3 D9;. ) E9N2 ) JC: ) 可用于超精细加工的高重复率、高光束质量飞秒 再生放大脉冲的产生研究! 王屹山 程光华 刘 青 孙传东 赵 卫 陈国夫 （中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学技术国家重点实验室，西安 !##$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ## # ’ ##( ( $ 通过飞秒放大增益饱和理论及飞秒脉冲展宽的理论计算与分析，指出在优化放大腔结构参数及改变抽运光能 量情况下，可以在省略展宽器基础上实现中等能量的飞秒脉冲再生放大 以此为依据，采用低抽运能量和放大腔中 ) 钛宝石晶体离焦技术，成功地进行了无展宽器的高重复率飞秒钛宝石再生放大及压缩技术的实验研究，并获得了 高光束质量的飞秒放大光脉冲，放大光脉冲能量大于## *，重复频率为+,-，光谱带宽! )!./，压缩后脉宽0##12 ) ! 关键词：飞秒光脉冲，再生放大，光束质量，增益饱和 ： ， !## 3$#4 3$#5 7 引 言 飞秒超快光源已成为人们研究光与物质的相互 作用超快过程、高速光电器件特性以及高速光通讯 等诸多领域中不可缺少的高能量、高时间分辨抽运 及探测光源，尤其上世纪’# 年代后期人们发现高功 ［，］ ［］ ( 率飞秒光脉冲在超精细加工 、光存储 、微光子 ［］ ［］ ［］ 器件制造3 0 0 、精密医疗器械制造 、精细外科手术 中有其独特的优势，并具有潜在的应用价值) 飞秒激光与透明介质相互作用时由于多光子吸 收和雪崩电离等效应在瞬间产生高温等离子体并形 成微爆结构，其特点是作用区域小、无热效应、重复 性高、永久性变化等，之所以有这些特性主要是由于 飞秒激光与介质相互作用具有自聚焦效应和多光子 图 飞秒激光与介质相互作用阈值效应示意图， 为 ! 吸收阈值效应，如图 所示，当飞秒激光聚焦在透明 聚焦高斯光束的衍射极限光斑直径， ， 为大于强度 ! ! 介质上时，聚焦高斯光束的衍射极限光斑直径为 ， ! 阈值 89 的光斑部分产生的作用区域尺寸，可以看出，由 由于阈值效应，只有大于强度阈值 的光斑部分才 89 于阈值效应，作用区域小于衍射极限 起作用，使得产生的作用区域 ， 小于 ，突破光