第4章传感器原理讲述汇总.ppt

根据上式作出的归一化曲线如图4-26所示。  以上分析表明：  ① 电涡流强度与距离x呈非线性关系，且随着x/ras的增加而迅速减小。  ② 当利用电涡流式传感器测量位移时，只有在x/ras1(一般取0.05～0.15)的条件下才能得到较好的线性和较高的灵敏度。 3. 电涡流的轴向贯穿深度  所谓贯穿深度是指把电涡流强度减小到表面强度的1/e处的表面厚度。  ? 由于金属导体的趋肤效应，电磁场不能穿过导体的无限厚度， 仅作用于表面薄层和一定的径向范围内，并且导体中产生的电涡流强度是随导体厚度的增加按指数规律下降的。其按指数衰减分布规律可用下式表示： (4-47) 式中：d——金属导体中某一点与表面的距离；  Jd——沿H1轴向d处的电涡流密度；  J0——金属导体表面电涡流密度， 即电涡流密度最大值； h——电涡流轴向贯穿的深度（趋肤深度）。 图4-27所示为电涡流密度轴向分布曲线。由图可见，电涡流密度主要分布在表面附近。  由前面分析所得的式（4-41）可知，被测体电阻率愈大， 相对导磁率愈小，以及传感器线圈的激磁电流频率愈低，则电涡流贯穿深度h愈大。故透射式电涡流传感器一般都采用低频激励。 图4-27 电涡流密度轴向分布曲线 4.3.4 电涡流传感器测量电路  用于电涡流传感器的测量电路主要有调频式、 调幅式电路两种。  1. 调频式电路 图4-28 调频式测量电路 (a) 测量电路框图； (b) 振荡电路 传感器线圈接入LC振荡回路，当传感器与被测导体距离x改变时，在涡流影响下，传感器的电感变化，将导致振荡频率的变化，该变化的频率是距离x的函数，即f=L(x), 该频率可由数字频率计直接测量，或者通过f-V变换，用数字电压表测量对应的电压。 振荡器电路如图4 - 28(b)所示。它由克拉泼电容三点式振荡器(C2、C3、L、C和Ｖ1)以及射极输出电路两部分组成。振荡器的频率为 为了避免输出电缆的分布电容的影响，通常将L、C装在传感器内。 此时电缆分布电容并联在大电容C2、C3上，因而对振荡频率f的影响将大大减小。 2. 调幅式电路 由传感器线圈L、电容器C和石英晶体组成的石英晶体振荡电路如图4-29所示。石英晶体振荡器起恒流源的作用，给谐振回路提供一个频率（f0）稳定的激励电流io，LC回路输出电压 （4-48） 式中, Z为LC回路的阻抗。 图4-29 调幅式测量电路示意图 当金属导体远离或去掉时，LC并联谐振回路谐振频率即为石英振荡频率fo，回路呈现的阻抗最大， 谐振回路上的输出电压也最大；当金属导体靠近传感器线圈时，线圈的等效电感L发生变化，导致回路失谐，从而使输出电压降低，L的数值随距离x的变化而变化。因此，输出电压也随x而变化。输出电压经放大、 检波后， 由指示仪表直接显示出x的大小。  除此之外， 交流电桥也是常用的测量电路。 4.3.5 涡流式传感器的应用 1. 低频透射式涡流厚度传感器 图4-30 为透射式涡流厚度传感器的结构原理图。在被测金属板的上方设有发射传感器线圈L1，在被测金属板下方设有接收传感器线圈L2。当在L1上加低频电压U1时，L1上产生交变磁通φ1，若两线圈间无金属板，则交变磁通直接耦合至L2中，L2产生感应电压U2。如果将被测金属板放入两线圈之间，则L1线圈产生的磁场将导致在金属板中产生电涡流, 并将贯穿金属板，此时磁场能量受到损耗，使到达L2的磁通将减弱为φ1′，从而使L2产生的感应电压U2下降。金属板越厚， 涡流损失就越大，电压U2就越小。因此，可根据U2电压的大小得知被测金属板的厚度。透射式涡流厚度传感器的检测范围可达1～100 mm， 分辨率为0.1 μm，线性度为1%。 . . . . . 图4-30 透射式涡流厚度传感器结构原理图 2. 高频反射式涡流厚度传感器 图4-31 高频反射式涡流测厚仪测试系统图 为了克服带材不够平整或运行过程中上下波动的影响，在带材的上、下两侧对称地设置了两个特性完全相同的涡流传感器S1和S2。S1和S2与被测带材表面之间的距离分别为x1和x2。若带材厚度不变，则被测带材上、下表面之间的距离总有x1+x2=常数的关系存在。两传感器的输出电压之和为2Uo，数值不变。如果被测带材厚度改变量为Δδ，则两传感器与带材之间的距离也改变一个Δδ