第03章 电容式传感器.pdfVIP

《传感器与检测技术》 第2部分 传感器技术 同济大学电子与信息工程学院 控制科学与工程系 主讲: 岳继光 张志明 电容式传感器 Capacitive Sensor 利用电容器的原理，将非电量转换成电 容量，进而实现非电量到电量的转化的 器件或装置，称为电容式传感器。 实质上是一个具有可变参数的电容器。 本章重点/难点： 测量电路 误差分析 电容式传感器的工作原理 变换原理：将被测非电量的变化转化为电容量变化 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: ε ε0 r A εA ε C δ δ + A + δ、A 或ε发生变化时，都 + 会引起电容的变化。 变极距型 传感器类型 变面积型 δ 变介质型 变极距( δ）型: (a)、(e) 变面积型(S)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) （h ） 变介电常数( ε)型: （i ）～(l) 1. 变面积型电容传感器 1. 变面积型电容传感器 当动极板相对于定极板沿 着长度方向平移时，其电 容变化量化为 ab a x b b x ε ε ( ε ε ) −Δ ε ε Δ =Δ =− C C −C 0 r 0 r 0 r 0 d d d △C与△x 间呈线性关系 2008/4/2 5 2. 变介电常数型电容式传感器 2. 变介电常数型电容式传感器 2πεH 初始电容 C 0 D ln