毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计和制作.PDFVIP

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  • 2017-07-04 发布于安徽
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毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计和制作.PDF

第 卷第 期 压 电 与 声 光 年 月 文章编号 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 苗 斌 李加东 张 轲 吴东岷 中国科学院 苏州纳米技

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