扫描微镜的设计与模拟.pdfVIP

摘 要 随着微机械技术的发展，人们开始研究采用扫描微镜振动扫描的方式实现 图像信号的传递。这种以微机械电子技术为基础的成像技术克服了传统的机械 分列式扫描装置的体积庞大、重量大、控制系统复杂等许多缺点。大量的研究 表明：MEMS为几千赫兹振动频率下的光学扫描提供了一种可能的技术并且扫 描微镜的机械和光学性能与加工流程无关。MEMS微镜和传统扫描镜一样，它 们都应受到机械和光学的基本约束条件约束的，但这些基本的约束条件并未得 到广泛的关注。本文讨论了扫描镜设计中的基本约束条件，主要着眼于由于机 械性能(微镜的平面度和动态变形)与光学性能(光束的发散和光学分辨率) 问的交互作用。共振扫描镜的性能指标与微镜的几何尺寸、所要达到的光学分 辨率、材料性质和机械共振频率有关。扫描微镜的光学分辨率与微镜的长度成 正比，因此越长的微镜可以得到越高的扫描分辨率。然而，在角加速度影响下 的扫描微镜将会产生动态变形，其动态变形量是长度的五次方关系。因此，设 计微镜必须平衡其最大的共振频率和受衍射限制的光学分辨率。 当前，人们对微电子机械系统的研究正处于从微器件试制向微系统产品开 发的转变。常规的微机电系统的开发方式不仅浪费了大量的人力物力而且延长 了产品进入市场的周期，因此很有必要在设计开发前对微机电系统进行模拟仿 真。在国外，很多公司推出了一系列用于MEMS建模仿真的软件。在本文中，我 们用ANSYS内置的静电结构耦合分析器ESSOLV对扫描微镜进行静电结构模 拟、分析。我们模拟分析了微镜结构在三种不同驱动形式下微镜的动态行为。 结果表明：当在扫描微镜和外框架上都有驱动力作用时，微镜所产生的运动不 仅仅是在微镜上和外框架上各自作用着相应的驱动力时的微镜运动的简单叠 加，且外框架电极对微镜运动的影响比微镜电极对外框架运动的影响来得大。 这样，为了满足精度需要，控制系统将变得非常复杂。因此，如何减小微镜与 外框架间的耦合将是以后的研究方向。 关键词：微电子机械系统，耦合场，扫描微镜，ANSYS，模拟 ABSTRACT 稍盘the ofmicromechanical havestarted development technology,researchers to modulated micmmirrortodeliver developresonant-scanning imagesignal．T11iS kindof basedonmicroelectromechanicalovercomesthe system technology ofwaditionalmechanical device：massiveandhas shortcomings scanning control researchshowthat秘EMSan complicatedsystem。Many providesenabling fornew atmulti-kHz the applic懿ions frequencies．And technologyoptical—scanner be mechanicaland of mirrorsCan considered opticalperformancescanning ofthe fabricationchosen．朝ultimatelimitations independentlyparticular process