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光栅与编码器介绍 位置检测装置作为数控机床的重要组成部分，其作用就是检测位移量，并发 出反馈信号与数控装置发出的指令信号相比较，若有偏差，经放大后控制执行部 件使其向着消除偏差的方向运动，直至偏差等于零为止。为了提高数控机床的加 工精度，必须提高检测元件和检测系统的精度。其中以编码器，光栅尺，旋转变 压器，测速发电机等比较普遍，下面主要对光栅和编码器进行说明。 光栅,现代光栅测量技术 简要介绍： 将光源、两块长光栅（动尺和定尺）、光电检测器件等组合在一起构成的光 栅传感器通常称为光栅尺。光栅尺输出的是电信号，动尺移动一个栅距，输出电 信号便变化一个周期，它是通过对信号变化周期的测量来测出动就与定就职相对 位移。目前使用的光栅尺的输出信号一般有两种形式，一是相位角相差90 度的 2 路方波信号，二是相位依次相差90 度的4 路正弦信号。这些信号的空间位置 周期为W。下面针对输出方波信号的光栅尺进行了讨论，而对于输出正弦波信号 的光栅尺，经过整形可变为方波信号输出。输出方波的光栅尺有A 相、B 相和Z 相三个电信号，A 相信号为主信号，B 相为副信号，两个信号周期相同，均为W， 相位差90o。Z 信号可以作为较准信号以消除累积误差。 一、栅式测量系统简述 从上个世纪50 年代到70 年代栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、 容栅和球栅，这5 种测量系统都是将一个栅距周期内的绝对式测量和周期外的增 量式测量结合了起来，测量单位不是像激光一样的是光波波长，而是通用的米制 （或英制）标尺。它们有各自的优势，相互补充，在竞争中都得到了发展。由于 光栅测量系统的综合技术性能优于其他4 种，而且制造费用又比感应同步器、磁 栅、球栅低，因此光栅发展得最快，技术性能最高，市场占有率最高，产业最大。 光栅在栅式测量系统中的占有率已超过80%，光栅长度测量系统的分辨力已覆 盖微米级、亚微米级和纳米级，测量速度从60m/min，到480m/min 。测量长度 从1m、3m 达到30m 和 100m。 二、光栅测量技术发展的回顾 计量光栅技术的基础是莫尔条纹（Moire fringes），1874 年由英国物理学家 L.Rayleigh 首先提出这种图案的工程价值，直到20 世纪50 年代人们才开始利用 光栅的莫尔条纹进行精密测量。1950 年德国Heidenhain 首创DIADUR 复制工艺， 也就是在玻璃基板上蒸发镀铬的光刻复制工艺，这才能制造高精度、价廉的光栅 刻度尺，光栅计量仪器才能为用户所接受，进入商品市场。1953 年英国Ferranti 公司提出了一个4 相信号系统，可以在一个莫尔条纹周期实现4 倍频细分，并能 鉴别移动方向，这就是4 倍频鉴相技术，是光栅测量系统的基础，并一直广泛应 用至今。 德国Heidenhain 公司1961 年开始开发光栅尺和圆栅编码器，并制造出栅 距为4μm （250 线/mm ）的光栅尺和10000 线/转的圆光栅测量系统，能实现1 微米和1 角秒的测量分辨力。1966 年制造出了栅距为20μm （50 线/mm ）的封 闭式直线光栅编码器。在80 年代又推出AURODUR 工艺，是在钢基材料上制作 高反射率的金属线纹反射光栅。并在光栅一个参考标记（零位）的基础上增加了 距离编码。在 1987 年又提出一种新的干涉原理，采用衍射光栅实现纳米级的测 量，并允许较宽松的安装。1997 年推出用于绝对编码器的EnDat 双向串行快速 连续接口，使绝对编码器和增量编码器一样很方便的应用于测量系统。现在光栅 测量系统已十分完善，应用的领域很广泛，全世界光栅直线传感器的年产量在60 万件左右，其中封闭式光栅尺约占85%，开启式光栅尺约占15%。 三、当今采用的光电扫描原理及其产品系列 光栅根据形成莫尔条纹的原理不同分为几何光栅（幅值光栅）和衍射光栅 （相位光栅），又可根据光路的不同分为透射光栅和反射光栅。光米级和亚微米 级的光栅测量是采用几何光栅，光栅栅距为100μm 至20μm 远于光源光波波长， 衍射现象可以忽略，当两块光栅相对移动时产生低频拍现象形成莫尔条纹，其测 量原理称影像原理。纳米级的光栅测量是采用衍射光栅，光栅栅距是8μm 或4μm， 栅线的宽度与光的波长很接近，则产生衍射和干涉现象形成莫尔条纹，其测量原 理称干涉原理。现以Heidenhain 产品采用的3 种测量原理介绍如下。 1.具有四场扫描的影像测量原理（透射法） 采用垂直入射光学系统均为4 相信号系统，是将指示