(TEM) 穿透式电子显微镜.PDF

TransmissionTransmission electronelectron microscopymicroscopy ((TEM)) 穿透式電子顯微鏡 • 11-11前言前言 • 1-2發展沿革 • 1-3電子束與物質作用 • 11-44 近年近年發展趨向發展趨向 • 1-5電子顯微鏡在材料科學上的應用 • 1-6電子顯微鏡與光學顯微鏡、 x 光繞射 儀特性及功能之比較儀特性及功能之比較 11-11 前言前言 ‧電子顯微鏡 (electron microscope，EM) 一般是指利用電磁場偏 折、聚焦電子及電子與物質作用所產生散射之原理來研究物質構 造及微細結構的精密儀器 。 ‧近年來，由於電子光學的理論及應用發展迅速，此項定義已嫌狹 窄窄 ，故重新定義其為一項利用電子與物質作用所產生之訊號來鑑故重新定義其為一項利用電子與物質作用所產生之訊號來鑑 定微區域晶體結構(crystal structure， CS) 、微細組織 (microstructure，MS) 、化學成份(chemical composition， CC) 、 化學鍵結(chemical bonding，CB) 和電子分佈情況 (electronic structure，ES) 的電子光學裝置。 11-22發展沿革發展沿革 • 1887 J. J. Thomson發現電子 電場及磁場可偏折電子束( ) • 1912 von Laue氏發現X 光繞射 •• dede BröglieBröglie氏發表質波說氏發表質波說((理論理論 )) • 1926 Schrödinger及 Heisenberg等發展量子力學 • 1927 Davisson和 Germer兩氏以電子繞射實驗證實了電子的波性 • 1934 Ruska製作第一部穿透式電子顯微鏡(TEM) • 1938第一部商售穿透式電子顯微鏡 (最佳分辦率在 20至30A之間) • 1964第一部商售掃描式電子顯微鏡 (SEM) 1-2發展沿革 •電子顯微鏡在材料科學上的應用史 1949年 Heidenreich 製成TEM觀察的鋁 及鋁合金薄膜及鋁合金薄膜 1950年中期，以TEM觀察到不銹鋼中的 差排及鋁合金中的小差排及鋁合金中的小G. P. zone 1-2發展沿革 •各種研究方法的改進 試片的研磨 分辦率的增進分辦率的增進 雙聚光鏡的應用 成像對比理論的發展 試片在試片在 TEMTEM試片中的處理試片中的處理 11-33電子束與物質作用電子束與物質作用 * 電子訊號： 未散射電子未散射電子 散射電子 (包括彈性、非彈 性反射和穿透電子及被吸 收電子收電子)) 激發電子 (包括二次電子及 歐傑電子(Auger electron) *電磁波訊號: X光射線(包括特性及制動 輻射輻射 )) 可見光 (陰極發光) *電動勢電動勢 :: 由半導體中電子一電洞對 的產生而引起。 • 電子與材料作用產生之訊號及所能提供資料 1-3電子束與物質作用電子束與物質作用 1-4近年發展趨向 • (一高電壓) • (二高分辨率) • ((三三))分析裝置分析裝置 • (四)場發射電子光源 一能量為400keV之外型圖 場發射穿透式電子顯微鏡 (300 kV) 穿透式電子顯微鏡 (LaB6 1000 kV)