熔石英元件抛光表面的亚表面损伤研究-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 28 10 Vol.28 No.10 年 月 , 2016 10 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Oct. 2016 熔石英元件抛光表面的亚表面损伤研究* , , , 何 祥 谢 磊 赵 恒 马 平 ( , ) 成都精密光学工程研究中心 成都 610041 : 。 摘 要 通过结合 酸洗和微分干涉差显微成像对两组抛光元件的亚表面损伤进行直接观测和分析 HF , 结果显示微分干涉差显微成像相比于传统的明场成像具有更好的分辨率 可以更有效检测 HF酸洗后暴露的 。 各种浅塑性亚表面损伤 对两组抛光元件的亚表面损伤的对比分析发现熔石英元件在抛光中会产生大量的亚 , , , 表面损伤 这些亚表面损伤绝大多数是浅塑性的划痕和坑 仅有少量的脆性断裂损伤 较大的抛光颗粒会产生 , , 更多更严重的亚表面损伤 并且这些亚表面损伤被表面沉积层所掩盖 表面粗糙度不能反映亚表面损伤的严重 程度。 : ; ; ; ; 关键词 熔石英 化学机械抛光 亚表面损伤 微分干涉差显微成像 沉积层 中图分类号: 文献标志码: : / TN244 A doi10.11884HPLPB201628.151108 , 随着高功率激光装置能量的不断提升 光学元件尤其是熔石英元件的激光诱导损伤问题已成为高功率激 。 , 光装置研制的核心问题之一 研究表明纯净的熔石英玻璃具有相当高的本征损伤阈值 但是熔石英玻璃在研 、 , 磨 抛光等加工过程中不可避免地会引入大量的亚表面损伤 而这些亚表面损伤是导致光学元件抗激光损伤能 [ ] 1-3 。 、 、 , 力下降的重要因素之一 因此有效地检测和分析熔石英元件不同深度 尺寸 形貌特征的亚表面损伤 从而 控制加工产生的亚表面损伤已成为高功率光学元件制造的迫切需求。 。