第13章固态图像传感器电荷耦合器件（CCD）特点—— 以电荷作为信号 .PDF

第13章 固态图像传感器 第13章 固态图像传感器 第13章 固态图像传感器 第13章 固态图像传感器 图像传感器：利用光电器件的光－电转换功能， 将其感光面上的光像转换为与光像成相应比例关 系的电信号“图像”的一种功能器件， 固态图像传感器：在同一半导体衬底上布设的若 干光敏单元与移位寄存器构成的集成化、功能化 的光电器件。光敏单元简称为“像素”或“像 点”。 特点：集成度高、尺寸小、电压低（DC7～ 12V）、 功耗小。 该技术的发展促进了各种视频装置的普及和微型 化，应用遍及航天、遥感、天文、通讯、工业、农 业、军用等各个领域。 第13章 固态图像传感器 第13章 固态图像传感器 第13章 固态图像传感器 第13章 固态图像传感器 固态图像传感器由光敏元件阵列和电荷转 移器件集合而成。 敏感元件主要有三大类： 电荷耦合器件（Charge Coupled Device，即 CCD） 互补金属氧化物半导体图像传感器（即CMOS） 电荷注入器件（Charge Injenction Device， 即CID） 第13章 固态图像传感器 第13章 固态图像传感器 电荷耦合器件（CCD ）特点—— 13.1 电荷耦合器件（CCD） 1.CCD基本结构 显微镜下的MOS元表面 以电荷作为信号。 CCD基本结构分两部分： CCD 的基本功能—— 电荷存储和 MOS（金属—氧化物—半导 体） 电荷转移。 光敏元阵列）。电荷耦合器 件是在半导体硅片上制作成 CCD工作过程——信号电荷的 百上千（万）个光敏元，一 产生、存储、传输和检测的过程。 个光敏元又称一个像素，在 半导体硅平面上光敏元按线 阵或面阵有规则地排列。 6 读出移位寄存器。 CCD结构示意图 1.CCD工作原理 第13章 固态图像传感器 (1)MOS的结构 第13章 固态图像传感器 一系列彼此非常接近的MOS电容用同一半导体衬底 制成，衬底可以是P型或N型材料，上面生长均匀、连续 2.CCD工作原理 (2)电荷存储原理： 的氧化层，在氧化层表面排列互相绝缘而且距离极小的金