纳米磁性膜微波电磁参量谐振腔法测量分析-中北大学微米纳米技术.PDF

第34卷 　第10期 华 　中　科 　技 　大 　学 　学 　报 ( 自然科学版) Vol . 34 No . 10 2006年 　10月 　 J . Huazhong U niv . of Sci . Tech . (Nat ure Science Edition) 　Oct . 　2006 纳米磁性膜微波电磁参量谐振腔法测量分析 江建军 　陶　洁 　张秀成 　何华辉 (华中科技大学 电子科学与技术系 , 湖北 武汉 430074) 摘要 : 基于谐振腔微扰法测量薄膜复电磁参数的基本原理 ,使用微波网络分析仪和谐振腔 ,利用虚拟仪器技 术 ,开发了薄膜电磁参数 自动测量系统. 利用测试系统对 FeCo 基纳米膜进行了测试 ,分析了散射参数 、信号 源频率与 Q 值 、样品超薄特性 、热环境和实验操作等因素对测量结果产生的影响 ,并由此提出了改进谐振腔 法的实验方案. 提高了测量的精度 ,复磁导率测试误差低于 6 % ,复介电常数测试误差低于 4 %. 关 　键 　词 : 谐振腔 ; 微扰 ; 薄膜 ; 复介电常数 ; 复磁导率 ; 误差分析 中图分类号 : TN 81 　　文献标识码 : A 　　文章编号 : 167 145 12 (2006) 10000 103 Measurement of microwave electromagnetic para meters of nanostructural magnetic f il ms by using cavity perturbation J i ang J i anj u n 　T ao J ie 　Z h ang X i ucheng 　H e H ua h ui (Dep art ment of Elect ronic Science and Technolo gy , Huazhong U niver sit y of Science and Technology , Wuhan 430074 , China) Abstract : Thi s re search i s ba sed o n t he ba sic p rincip le of mea suring co mp lex elect ro magnetic p arame t er s of t hin film s. A n auto matic mea surement sy st em wit h virt ual in st rument ation con si st s of V ector N et wor k A nalyzer , p er sonal co mp ut er an d re sonant cavitie s , wa s develop ed for elect ro magnetic p a ramet er s of t hin film s. A serie s of FeCoba sed nano st r uct ural t hin film s were mea sured in t he auto matic sy st em by u sin g cavit y p ert urbatio n met ho d . The eff ect s of scat t ering p aramet er s , such a s t he signal source f requencie s , Q f actor , nano st r uct ural t hickne sse s , heat environment , and op eratio n met ho d , on t he mea surement