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非晶碳膜中sp_2和sp_3相检测方法_鲁占灵
2 3
非晶碳膜中sp 和 sp 相的检测方法/鲁占灵等 99
* 2
征峰和1s 到σ态的特征峰的积分面积比R 和含有100%sp C
1
的无序石墨的两个峰的面积比R , R 与R 的比值即为薄膜的
2 1 2
2 2 3 3
sp C 含量 f。如果碳薄仅由sp C 和 sp C 组成, 则sp C 含量=
2 3
1 - f。此法 常是测定非晶碳中sp 和sp C 比例的标准方法。
但是进行电子能量损失谱实验时, 要求把薄膜从衬底上取下来,
既对样品具有破坏性, 又相当耗时, 而且国内能测电子能量损失
谱的实验室也不多。
图1 含氢非晶碳膜的NMR 谱(实线为质子去耦后)[8]
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Fig . 1 CNMR spectroscopy of amorphous hydrogenated carbon
2 X射线光电子能谱
X 射线光电子能谱(XPS)是 过确定光电子发射时所处芯
态能级的结合能来辨识样品中元素构成的。每种元素有它特定
的芯态能量, 而位移则反映了化学键态的变化。金刚石和石墨
2 3
的芯态能量之间有 0. 9eV 的微小差别, 这是由于 sp 键比sp
[14] 3 2 [15 ～20]
键的键长略短 , 因此可以用来区分 sp C 和 sp C 。用
3 2
XPS 谱确定非晶碳膜中 sp C/sp C 比率的方法是:对样品的
C1s 谱进行高斯拟合, 把 C1s 谱分解为结合能为 284. 4eV 和
285.2eV 的两个高斯特征峰, 284. 4eV 的高斯特征峰对应于
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sp C, 285. 2eV 对应于 sp C。用 XP
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