第4章光纤光栅传感器.ppt

* * * * * 除了 * Nihao * * 辨向光路设置 在相距的位置上设置两个光电元件1和2， 以得到两个相位互差90°的正弦信号 辨向电路 正向移动时脉冲数累加，反向移动时，便从累加的脉冲数中 减去反向移动所得到的脉冲数，这样光栅传感器就可辨向。 辨向电路各点波形图 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 整形放大 整形放大 u1 u2 u1 u2 整形放大 u1 u2 u2 u1 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 u1 u1f u1f 正向移动时 u1 整形放大 u2 u2 整形放大 u1 u2 u2 u1 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 u1 u1f u1f u1 整形放大 u2 u2 正向移动时 u1 u2 u2 u1f u1 整形放大 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 u1 u1f u1 整形放大 u2 u2 反向移动时 微分 微分 反 相 Y1 Y2 加法脉冲 减法脉冲 整形放大 整形放大 u1 u2 u1 u2 采用电路的手段对周期性的测量信号进行插值，以提高分辨率。 u1 L 用鉴频器鉴取四个信号的零电平， 当每个信号从负到正过零点时发一个计数脉冲 L n W/n W 为光栅设计的专用数据转接器（光栅计数卡） 内部包含以下电路：放大、整形、细分、辨向、报警、阻抗变换等。 为光栅设计的专用信号处理单元 （光栅插补器） 功能同上页 光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 数显表 光栅在机床上的安装位置 （3个自由度）（续） 2自由度光栅数显表 X位移显示 Y位移显示 3自由度光栅数显表 光栅数显表（续） 三座标数显表 SDS8-3E 光栅数显箱功能: 公制/英制转换绝对/相对转换线性误差补偿正反方向计算归零插值补偿到达目标值停机PCD圆周分孔200组零位记忆电蚀深度目标值显示实时工作位置显示掉电记忆 光栅数显表（续） 设定按键 比较 电路 驱动 装置 伺服 电动机 信号处理电路 工作台 光栅 传感器 位置指令 Pc Pe 位置偏差 位置反馈 Pf 数控机床的位置控制系统 安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器安装在夹具的端部 精细位移难测量 请来光栅帮帮忙 要想真正测的准 莫尔条纹最紧要 如何保证精度高 辨向细分少不了 4.5 光栅传感器 4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术 细分技术 提高分辨力方法： 在选择合适的光栅栅距的前提下，以对栅距进行测微，电子学中称“细分”，来得到所需的最小读数值。 细分就是在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲，以减小脉冲当量提高分辨力。 （1）直接细分 直接细分又称位置细分，常用的细分数为4。四细分可用4个依次相距的光电元件，在莫尔条纹的一个周期内将产生4个计数脉冲，实现了四细分。 优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简单，可用于静态和动态测量系统。 缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。 未细分(a)与细分(b)的波形比较 （2）电阻电桥细分法（矢量和法） 用此信号去触发施密特电路 电阻电桥细分法用于10细分 （c）电阻链细分法（电阻分割法） 等电阻链细分电路 实质：用电阻衰减器来进行细分。 End the 4.5 作业 P134 1,4,5,7,8,9,10,11,12 扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 可移动电缆 光栅的外形及结构（续） 反射式光栅 透射式光栅 透射式圆光栅 固定 4.5 光栅传感器 4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术 什么是光栅？ 由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件 a b W 光栅栅距 或 光栅常数 什么是光栅 在玻璃尺（或金属尺）或玻璃盘上进行长刻线的密集刻划，得到间隔很小的黑白相间的条纹，没有刻划的地方透光（或反光），刻划的发黑处不透光（或不反光），这就是光栅，其中刻线称为栅线。 a — 栅线的宽度 b — 缝隙的宽度 W — 光栅的栅距 W 条纹间距 W 条纹间距 光电元件 W 如何测量微小位移量？ 光电元件 光电元件感受的光强变化是否明显？ β 莫尔现象演示 条纹位置 方向不同 条纹运动 方向不同 4.5 光栅传感器 4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成