激光平面干涉仪规范.docVIP

用途 激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。仪器配有激光光源（波长为632.8nm）。对于干涉条纹可目视、测量读数。工作时对防震要求一般。该仪器可应用与光学车间、实验室、计量室。 如需配购相关的必要附件，可精密测量光学平面的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90度棱镜的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。 主要数据 第一标准平面（A面）,不镀膜。工作直径：D1=φ146mm 不平度小于0.02um 2.第二标准平面（B面），不镀膜。工作直径：D2=φ140mm 不平度小于0.03um 3.准直系统：孔径F/2.8， 工作直径：D0=φ146mm 焦距：f=400mm 4.测微目镜：焦距f=16.7mm，放大倍数β=15X，视场角2W=40°， 成像物镜：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10 F=15 f=23 f=37 5.工作波长：632.8nm 6.干涉室尺寸：深260X宽300X190mm。 7.